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恭喜苏州军精鑫精密科技有限公司瞿绍军获国家专利权

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龙图腾网恭喜苏州军精鑫精密科技有限公司申请的专利一种用于晶圆加工的机械手结构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119388462B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411975349.7,技术领域涉及:B25J11/00;该发明授权一种用于晶圆加工的机械手结构是由瞿绍军;李发义设计研发完成,并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

一种用于晶圆加工的机械手结构在说明书摘要公布了:本发明涉及晶圆加工技术领域,具体地说,涉及一种用于晶圆加工的机械手结构。包括伸缩机构包括液压伸缩杆、固定底盘和吸附组件,吸附组件固定安装在固定底盘下表面,并通过液压伸缩杆在支撑臂一侧下表面升降调节;旋转机构包括齿环圆盘、连接块、滑杆、连接杆和注胶喷酒精检测组件,滑杆固定安装在连接块下表面,连接杆固定套接在滑杆下表面,注胶喷酒精检测组件通过连接杆固定安装在连接块下表面,并随着连接块在齿环圆盘表面转动;固定板上表面固定安装有检测台,检测台上表面和吸附组件下表面垂直对应。只需要机械手便可快速完成对晶圆吸盘的装卸和平整度检测,简化工序的同时,提高对晶圆吸盘平整度检测的工作效率。

本发明授权一种用于晶圆加工的机械手结构在权利要求书中公布了:1.一种用于晶圆加工的机械手结构,其特征在于:包括底座(100)、伸缩机构(200)、旋转机构(300)和固定板(400);所述底座(100)上表面固定安装有旋转轴(101),所述旋转轴(101)上表面固定套接有转动杆(102),所述转动杆(102)上表面固定安装有支撑臂(103),所述支撑臂(103)上表面一侧固定安装有固定件(104);所述伸缩机构(200)包括液压伸缩杆(203)、固定底盘(204)和吸附组件,所述吸附组件固定安装在固定底盘(204)下表面,并通过液压伸缩杆(203)在支撑臂(103)一侧下表面升降调节;所述旋转机构(300)包括齿环圆盘(302)、连接块(304)、滑杆(307)、连接杆(308)和注胶喷酒精检测组件,所述滑杆(307)固定安装在连接块(304)下表面,所述连接杆(308)固定套接在滑杆(307)下表面,所述注胶喷酒精检测组件通过连接杆(308)固定安装在连接块(304)下表面,并随着所述连接块(304)在齿环圆盘(302)表面转动;所述固定板(400)上表面固定安装有检测台(401),所述检测台(401)上表面和吸附组件下表面垂直对应;所述伸缩机构(200)包括液压缸(201),所述液压缸(201)固定安装在固定件(104)上表面,所述固定件(104)下表面固定安装有液压套杆(202),所述液压伸缩杆(203)伸缩套接在液压套杆(202)下表面;所述液压套杆(202)下表面四周固定安装有支撑圆盘(301),所述支撑圆盘(301)底部表面四周开设有滑槽(306),所述注胶喷酒精检测组件包括胶体存储箱(309),所述胶体存储箱(309)表面一侧和连接杆(308)固定连接,所述胶体存储箱(309)表面两侧固定安装有酒精存储箱(310)和电子水平仪(311),所述胶体存储箱(309)下表面开设有喷胶口(314),所述酒精存储箱(310)下表面开设有喷洒口(315),所述胶体存储箱(309)和酒精存储箱(310)下表面固定安装有控制阀(313),所述电子水平仪(311)表面一侧设置有探头(312),所述齿环圆盘(302)外表面一圈固定连接有连接件(303),所述液压套杆(202)表面一侧固定安装有驱动电机(305),所述驱动电机(305)的输出轴固定连接有轴杆(316),所述轴杆(316)下表面固定套接有驱动齿轮(317)。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州军精鑫精密科技有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市吴中区木渎镇走马塘路29号8幢;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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