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龙图腾网恭喜季华实验室申请的专利一种狭缝式气体供给装置和镀膜设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119673742B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510186536.5，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种狭缝式气体供给装置和镀膜设备是由杨一新;文享龙;邬全兵;马宝真;蔡炜设计研发完成，并于2025-02-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种狭缝式气体供给装置和镀膜设备在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体制造领域，特别是一种狭缝式气体供给装置和镀膜设备。狭缝式气体供给装置，其包括供气设备、第一分流管和第一扩散器，所述第一分流管设有均连通到第一分流管内的第一气体入口和多个第一喷孔，所述第一气体入口与所述供气设备通过管道连接，所述第一扩散器内设有第一匀气空间，所有的所述第一喷孔和所述第一匀气空间相连通，所述第一扩散器上设有连通所述第一匀气空间的第一狭缝，所述第一狭缝用于释放所述第一匀气空间中的气体。通过在点线状的出气口侧加装狭缝扩散器，提升放出气体的均匀性，精准地向工件提供均匀分布的工艺气体，避免了工艺气体的无效扩散，并节约真空腔室内的空间。

本发明授权一种狭缝式气体供给装置和镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种狭缝式气体供给装置，包括供气设备，其特征在于，所述狭缝式气体供给装置还包括第一分流管（1）和第一扩散器（2），所述第一分流管（1）设有均连通到第一分流管（1）内的第一气体入口（101）和多个第一喷孔（102），所述第一气体入口（101）与所述供气设备通过管道连接，所述第一扩散器（2）内设有第一匀气空间，所有的所述第一喷孔（102）和所述第一匀气空间相连通，所述第一扩散器（2）上设有连通所述第一匀气空间的第一狭缝（201），所述第一狭缝（201）用于释放所述第一匀气空间中的气体；所述第一喷孔（102）和所述第一狭缝（201）在水平面上的延伸方向均向顺时针方向倾斜或均向逆时针方向倾斜；所述第一喷孔（102）的气体输出方向与所述第一扩散器（2）内壁的切线形成夹角α，所述第一狭缝（201）的气体输出方向与所述第一扩散器（2）内壁的切线形成夹角β，α为0～60°，β为0～60°。

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