恭喜东京毅力科创株式会社大谷乡获国家专利权
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龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利基板加热装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN108735628B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201810359949.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板加热装置是由大谷乡;大塚幸信设计研发完成，并于2018-04-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板加热装置在说明书摘要公布了：本发明涉及基板加热装置，提供一种在将晶圆载置于加热板来进行加热的加热装置中抑制加热板的热对设置于加热装置的驱动系统的影响的技术。构成为由晶圆搬送机构将被加热板加热处理过的晶圆搬送到冷却板，在从加热板的下方侧起到冷却板的下方侧为止连续配置的水冷板的下方侧设置有构成晶圆搬送机构的例如包括带驱动机构的移动机构。因此，即使加热板的温度为600℃的高温，由于加热板的辐射热被水冷板遮蔽，因此对于移动机构的耐热性变大。
本发明授权基板加热装置在权利要求书中公布了：1.一种基板加热装置，其特征在于，具备：加热板，其载置基板并且对基板进行加热；冷却板，其与所述加热板沿前后方向相邻地设置，冷却板用于载置从外部搬入来的加热处理前的基板并且对被所述加热板加热处理后的基板进行冷却；基板搬送机构，其用于在所述冷却板与所述加热板之间搬送基板；隔热板，其从所述加热板的下方侧起到所述冷却板的下方侧为止连续设置；冷却机构，其用于冷却所述隔热板，以及低氧气氛形成部，其用于将对基板进行加热处理的气氛设为低氧气氛，其中，所述基板搬送机构具备用于保持基板的基板保持部、以及设置于比所述隔热板靠下方侧的位置且使所述基板保持部沿前后方向移动的移动机构，其中，所述基板搬送机构通过将所述基板保持于所述基板保持部并使所述基板保持部在所述冷却板与所述加热板之间进行移动来搬运所述基板。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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