恭喜ASML荷兰有限公司K·W·张获国家专利权
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龙图腾网恭喜ASML荷兰有限公司申请的专利光束的空间调制获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111955058B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980024259.0，技术领域涉及：H05G2/00；该发明授权光束的空间调制是由K·W·张;M·A·珀维斯;C·A·斯廷森设计研发完成，并于2019-03-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本光束的空间调制在说明书摘要公布了：一种系统包括空间调制设备，其被配置为与光束相互作用以创建经修改光束，该经修改光束包括沿垂直于该经修改光束的传播方向的方向具有非均一强度的光的空间图案，该光的空间图案包括一个或多个光分量；和目标供应系统，其被配置为向目标区域提供目标，该目标包括目标材料，所述目标材料在处于等离子体状态时发射EUV光。该目标区域与束路径重叠，使得该经修改束中的一个或多个光分量中的至少一些光分量与该目标的一部分进行相互作用。
本发明授权光束的空间调制在权利要求书中公布了：1.一种形成用于极紫外EUV光源的目标的系统，包括： 空间调制设备，其被配置为与光束相互作用以创建经修改光束，所述经修改光束包括沿垂直于所述经修改光束的传播方向的方向具有非均一强度的光的空间图案，所述光的空间图案包括光分量，所述光分量是空间相隔且空间分立的，并且以网格布置；和 目标供应系统，其被配置为向目标区域提供目标，所述目标包括目标材料，所述目标材料在处于等离子体状态时发射EUV光，其中所述目标区域与束路径重叠，使得所述经修改光束中的所述一个或多个光分量中的至少一些光分量与所述目标的一部分进行相互作用。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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