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龙图腾网恭喜台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利半导体制造设备系统及其操作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113611651B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110408983.2，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权半导体制造设备系统及其操作方法是由林传维;黎辅宪;林永巨;陈榕绅;董启峰;沈香吟设计研发完成，并于2021-04-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体制造设备系统及其操作方法在说明书摘要公布了：本发明实施例涉及半导体制造设备系统及其操作方法。所述系统包含定向工具及经配置以运送至少一个定制零件的运送工具。所述定向工具包含经配置以接纳所述工件的端口、经配置以检测接纳于所述端口中的所述工件的定向的传感器及经配置以转动接纳于所述端口中的所述工件的旋转机构。

本发明授权半导体制造设备系统及其操作方法在权利要求书中公布了：1.一种用于定向工件的装置，其包括：端口，其经配置以接纳所述工件；传感器，其经配置以检测接纳于所述端口中的所述工件的定向信息；旋转机构，其经配置以基于所述传感器所检测到的所述工件的所述定向信息转动接纳于所述端口中的所述工件；及通信器件，其经配置以与一运送工具通信连接；其中，所述运送工具经配置以经所述工件一第一制造工具移动至所述装置，再将所述工件自所述装置移动至一第二制造工具，其中，所述第一制造工具，其经配置以将所述工件装载为面向第一方向，所述第二制造工具，其经配置以将所述工件装载为面向第二方向，其中所述第二方向不同于所述第一方向；其中，在所述运送工具将装载于所述第一制造工具的所述工件移出后，所述运送工具与所述装置的所述通信器件通信，而所述装置会导引所述运送工具将所述工件移动至所述端口，其中，当所述运送工具将所述工件移动至所述端口中，所述工件面向所述第一方向，同时，所述传感器会检测所述工件的所述定向信息，而所述旋转机构会依据所述传感器所检测到的所述工件的所述定向信息将所述工件转动至面向所述第二方向，其中，在所述工件被所述旋转机构转动以面向所述第二方向后，所述通信器件通信会再次与所述运送工具通信，而所述运送工具将所述工件自所述装置移动至所述第二制造工具。

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