买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜北京晶亦精微科技股份有限公司申请的专利晶圆暂存装置及化学机械抛光设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114905408B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210499159.7，技术领域涉及：B24B37/34；该发明授权晶圆暂存装置及化学机械抛光设备是由石启鹏;李伟;尹影设计研发完成，并于2022-05-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆暂存装置及化学机械抛光设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆暂存装置及化学机械抛光设备，属于晶圆抛光的技术领域，晶圆暂存装置包括：隔水盘、定位柱和位置检测机构，定位柱设有至少三个，在隔水盘上沿圆形间隔分布，定位柱的顶部设有用于定位晶圆侧边的定位面，所有的定位面在隔水盘上定位出直径与晶圆直径相同的定位圆；位置检测机构也设有至少三个，沿定位圆间隔分布在隔水盘上，位置检测机构在隔水盘上形成用于判断当前位置是否具有晶圆的检测点，检测点位于定位圆的内侧。通过定位柱的设置，能够将晶圆定位在隔水盘上，并通过判断每一个检测点处是否检测到晶圆的方式，可准确的判断晶圆的摆放位姿是否准确，确保机械手能够准确的抓取到晶圆。

本发明授权晶圆暂存装置及化学机械抛光设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆暂存装置，其特征在于，包括：隔水盘1；定位柱2，设有至少三个，在所述隔水盘1上沿圆形间隔分布，所述定位柱2的顶部设有用于定位晶圆7侧边的定位面21，所述定位面21为由下至上半径逐渐变小的锥面，所有的定位面21在隔水盘1上定位出直径与晶圆7直径相适配的定位圆；以及位置检测机构3，设有至少三个，沿所述定位圆间隔分布在隔水盘1上，所述位置检测机构3在隔水盘1上形成用于判断当前位置是否具有晶圆7的检测点，所述检测点位于所述定位圆的内侧，晶圆7的边缘位置落在每个检测点处；所述位置监测机构3包括测片喷嘴31，连接在所述隔水盘1上，所述测片喷嘴31上设有用于支撑晶圆7底部的接触面311，所述测片喷嘴31内开设有穿透所述接触面311的检测喷孔312，所述检测喷孔312位于所述定位圆的内侧；每个所述测片喷嘴31上的检测喷孔312至少设有两个，相邻两个所述检测喷孔312的孔距大于晶圆7的缺口71宽度；还包括侧支板5，所述隔水盘1设有至少两个并间隔连接在所述侧支板5上，至少一个所述隔水盘1上设有保湿喷孔11和通道12，所述保湿喷孔11与所述通道12连通，所述通道12连接有用于向其内部输送保湿液的供液管路4；其中，所述隔水盘1每两个设为一组，每组中的两个隔水盘1沿竖直方向间隔分布，位于下方的隔水盘1设置有所述保湿喷孔11。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京晶亦精微科技股份有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号2幢2层101；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。