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龙图腾网恭喜电子科技大学;中国航发四川燃气涡轮研究院申请的专利一种叠层结构原子层热电堆热流传感器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115360288B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210881821.5，技术领域涉及：H10N10/817；该发明授权一种叠层结构原子层热电堆热流传感器及其制备方法是由赵睿鹏;徐毅;陈曦;陶伯万;李禛哲;谢天;张同;熊兵设计研发完成，并于2022-07-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种叠层结构原子层热电堆热流传感器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明属于热流传感器技术领域，涉及一种叠层结构原子层热电堆热流传感器及其制备方法。本发明采用叠层结构，通过将两种热电势信号极性相反的ALTP材料在三维空间相互串联，既增加了ALTP薄膜的有效长度，还开创性的将ALTP薄膜从二维布局转变为三维空间的架构，ALTP薄膜的相互串联不会占用衬底的平面位置，为ALTP热流传感器的小型化提供了一种新的思路，在保证小型化的前提下提高了ALTP热流传感器的灵敏度。

本发明授权一种叠层结构原子层热电堆热流传感器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种叠层结构原子层热电堆热流传感器，其特征在于：包括倾斜单晶基片、两种热电堆线条、绝缘层、引线金膜和外接导线；所述两种热电堆线条为两种热电势信号极性相反的材料，分别为n型和p型ALTP薄膜材料，两种热电堆线条设置于倾斜单晶基片上，并沿单晶基片倾斜方向在三维空间厚度方向相互交替堆叠；相邻两层热电堆线条中间通过加载绝缘层薄膜使二者仅部分搭接，以保证两种热电堆线条在三维空间的厚度方向相互交替串联；一根热电堆线条的厚度为20nm-1000nm，全部热电堆线条的总厚度不超过10um；当单根热电堆线条长度超过3mm时，两种热电堆线条搭接部位的长度不超过单根热电堆线条长度的20％；当单根热电堆线条长度小于3mm时，搭接部位长度0.01mm-1mm；所述绝缘层为与热电堆线条晶格匹配的材料，厚度10nm-100nm；所述引线金膜有两处，分别连接串联导通后的首尾两根热电堆线条，然后外接导线；所述外接导线有两根，分别与两处引线金膜相连，作为传感器对外连接的端头。

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