恭喜铠侠股份有限公司大石晃宏获国家专利权
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龙图腾网恭喜铠侠股份有限公司申请的专利排气管装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116162919B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210905355.X，技术领域涉及：C23C16/44；该发明授权排气管装置是由大石晃宏;松叶博;福水裕之设计研发完成，并于2022-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本排气管装置在说明书摘要公布了：根据一个实施方式的排气管装置包括：介电管；射频电极；和等离子体产生电路。排气管装置用作配置在处理室与将处理室内的气体排出的真空泵之间的排气管的一部分。射频电极包括配置在介电管的外周侧的薄金属板、配置在薄金属板的外周侧的缓冲构件和配置在缓冲构件的外周侧的导电性中空结构体，并且射频电压施加到射频电极。等离子体产生电路在介电管内产生等离子体。
本发明授权排气管装置在权利要求书中公布了：1.一种排气管装置，用作配置在处理室与将所述处理室内的气体排出的真空泵之间的排气管的一部分，所述排气管装置包括：介电管；射频电极，所述射频电极包括配置在所述介电管的外周侧的薄金属板、配置在所述薄金属板的外周侧的缓冲构件和配置在所述缓冲构件的外周侧并且被施加射频电压的导电性中空结构体；和在所述介电管内产生等离子体的等离子体产生电路，其中所述薄金属板与所述介电管紧密接触地配置在所述介电管的外周侧。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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