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恭喜深圳和美精艺半导体科技股份有限公司岳长来获国家专利权

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龙图腾网恭喜深圳和美精艺半导体科技股份有限公司申请的专利一种DI曝光机的LED光学设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115421358B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211128635.0,技术领域涉及:G03F7/20;该发明授权一种DI曝光机的LED光学设备是由岳长来设计研发完成,并于2022-09-16向国家知识产权局提交的专利申请。

一种DI曝光机的LED光学设备在说明书摘要公布了:本发明公开了一种DI曝光机的LED光学设备,涉及DI曝光机的LED光学设备领域,解决了现有DI曝光机的LED光学设备使用时成像镜头长时间处于高强度运行状态发热严重影响使用寿命的运行效果的问题,包括转动装置、感温装置、切换装置和多组光刻设备,多组光刻设备上均固定连接有两组成像镜头,成像镜头的侧面固定连接有近紫外LED发光源设备,此DI曝光机的LED光学设备,便于通过设置两组成像镜头并通过感温装置接收两组成像镜头的温度状态,并随着一组成像镜头的运行温度升高逐渐进行蓄力,当温度达到设定温度后触发转动装置进行转动180°,提高了成像镜头的运行效率,延长了机体的使用寿命。

本发明授权一种DI曝光机的LED光学设备在权利要求书中公布了:1.一种DI曝光机的LED光学设备,其特征在于,包括:多组光刻设备1,多组所述光刻设备1相互连接呈直线状分布,多组所述光刻设备1上均固定连接有两组成像镜头2,两组所述成像镜头2对称分布于所述光刻设备1的两侧,所述成像镜头2的侧面固定连接有近紫外LED发光源设备3;还包括:转动装置4,所述转动装置4安装于曝光机机体上,用于带动所述光刻设备1转动180°实现对两组所述成像镜头2之间的切换;感温装置5,所述感温装置5安装于所述光刻设备1上,用于感知所述成像镜头2的温度,并在温度变化时联动所述转动装置4进行蓄力并在达到设定温度后解除蓄力限位触发所述转动装置4的转动;切换装置6,所述切换装置6安装于所述成像镜头2内,用于根据两组所述成像镜头2的位置自动切换两组所述成像镜头2的工作状态。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳和美精艺半导体科技股份有限公司,其通讯地址为:518000 广东省深圳市龙岗区坪地街道四方埔社区牛眠岭新村26号二楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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