恭喜郑州磨料磨具磨削研究所有限公司王宁昌获国家专利权
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龙图腾网恭喜郑州磨料磨具磨削研究所有限公司申请的专利一种快速检测CVD单晶金刚石损伤层深度的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115683906B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211454241.4,技术领域涉及:G01N3/42;该发明授权一种快速检测CVD单晶金刚石损伤层深度的方法是由王宁昌;朱建辉;徐钰淳;师超钰;邵俊永设计研发完成,并于2022-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种快速检测CVD单晶金刚石损伤层深度的方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种快速检测CVD单晶金刚石损伤层深度的方法,通过连续压痕试验测试衬底材料的损伤层深度,提出微压痕测试的方法来评估CVD金刚石加工表面的总损伤,微压痕试验引起的损伤足够小,可以在加工过程中消除;具有快速、低成本、操作性强等特点,可以用于金刚石材料不同加工流程中损伤层的快速检测与评价,为优化材料加工参数以及下一道工序的加工时间有一定的指导意义。
本发明授权一种快速检测CVD单晶金刚石损伤层深度的方法在权利要求书中公布了:1.一种快速检测CVD单晶金刚石损伤层深度的方法,其特征在于,包括以下步骤:a.分别选取金刚石加工流程中任一加工工序的材料作为样品,通过切割的方式制作成待测样品;b.将切割后的待测样品通过晶体胶固定在连续压入测试平台的样品托上,并固化到最大强度;c.将固定有待测样品的样品托安装在连续压入测试平台的工作台上,且待测样品的表面与样品台面保持平行;d.不断调节压头与待测样品的距离,当达到临界载荷时判定压头与待测样品刚好接触;e.使用连续压入的方法对待测样品进行压痕测试,且每次进给相同的压入深度,并保载特定时间,到达时间后继续加载,直至设定的加载深度或者加载次数,记录加载过程中单次进给后载荷的变化量;f.随着压入深度的增加,当某次加载载荷的增加量突然增大,则记录载荷增加量发生变化时相对应的加载次数n1,而在载荷的增加量突然增大前压入深度记为h1:h1=n1-1×h0(1)其中h0为单次加载的深度,n1>2;g.材料的损伤层深度h为:h=h1。
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