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恭喜埃里希·塔尔纳埃里希·塔尔纳获国家专利权

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龙图腾网恭喜埃里希·塔尔纳申请的专利用于使两个衬底键合与去键合的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115461853B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080100229.6,技术领域涉及:H01L21/683;该发明授权用于使两个衬底键合与去键合的方法是由埃里希·塔尔纳设计研发完成,并于2020-05-29向国家知识产权局提交的专利申请。

用于使两个衬底键合与去键合的方法在说明书摘要公布了:本发明涉及用于将产品衬底与载体衬底暂时键合以及用于将产品衬底与载体衬底去键合的方法、相对应的设备和衬底堆。

本发明授权用于使两个衬底键合与去键合的方法在权利要求书中公布了:1.一种用于将产品衬底4、4'与载体衬底1、1'、1”、1”'、1IV暂时键合的方法,所述方法至少具有以下步骤:-在所述产品衬底4、4'上和或在所述载体衬底1、1'、1”、1”'、1IV上产生金属化暂时键合层2、2',-将所述产品衬底4、4'与所述载体衬底1、1'、1”、1”'、1IV在所述金属化暂时键合层2、2'处键合,其中所述载体衬底1、1'、1”、1”'、1IV结构化地形成,其中所述载体衬底1、1'、1”、1”'、1IV具有隆起1”e、1”'e、1IVe以及腔1”k、1”'k、1IVk,其中所述隆起1”e、1”'e、1IVe经由金属接触部与所述产品衬底4、4'稳定地连接,并且所述腔1”k、1”'k、1IVk布置在所述隆起1”e、1”'e、1IVe之间。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人埃里希·塔尔纳,其通讯地址为:奥地利圣弗罗里安;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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