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龙图腾网恭喜苏州汉天下电子有限公司申请的专利一种体声波谐振器、制备方法以及滤波器、制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114584099B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210225168.7，技术领域涉及：H03H9/02；该发明授权一种体声波谐振器、制备方法以及滤波器、制备方法是由王友良;杨清华设计研发完成，并于2022-03-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种体声波谐振器、制备方法以及滤波器、制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种体声波谐振器、制备方法以及滤波器、制备方法。该体声波谐振器的制备方法包括：提供衬底，其中，衬底的表面或者内部设置有声反射结构；在衬底之上依次形成下电极和压电层；在压电层背离下电极的表面形成掩膜层，其中，掩膜层设置有微结构窗口，微结构窗口包括凸起结构窗口；形成凸起结构膜层，其中，凸起结构膜层位于掩膜层的表面以及压电层上凸起结构窗口内，位于压电层上凸起结构窗口内的凸起结构膜层为凸起结构；去除掩膜层以及掩膜层表面的凸起结构膜层；形成上电极，上电极覆盖凸起结构和压电层。本发明实施例提供的技术方案，简化了体声波谐振器的制备工艺，降低了制作成本。

本发明授权一种体声波谐振器、制备方法以及滤波器、制备方法在权利要求书中公布了：1.一种体声波谐振器的制备方法，其特征在于，包括：提供衬底，其中，所述衬底的表面或者内部设置有声反射结构；在所述衬底之上依次形成下电极和压电层；在所述压电层背离所述下电极的表面形成掩膜层，其中，所述掩膜层设置有微结构窗口，所述微结构窗口包括凸起结构窗口；形成凸起结构膜层，其中，所述凸起结构膜层位于所述掩膜层的表面以及压电层上所述凸起结构窗口内，位于压电层上所述凸起结构窗口内的凸起结构膜层为凸起结构；去除所述掩膜层以及所述掩膜层表面的凸起结构膜层；形成上电极，所述上电极覆盖所述凸起结构和所述压电层；所述微结构窗口还包括凹陷结构窗口，在所述压电层背离所述下电极的表面形成掩膜层包括：在所述压电层背离所述下电极的表面依次形成第一掩膜层和第二掩膜层；在所述第二掩膜层形成凸起结构窗口的第一部分；在所述第一掩膜层形成凸起结构窗口的第二部分以及凹陷结构窗口，其中，所述凸起结构窗口和所述凹陷结构窗口连通，且所述凹陷结构窗口位于所述凸起结构窗口的内侧和外侧；去除所述掩膜层以及所述掩膜层表面的凸起结构膜层包括：去除所述第二掩膜层以及所述第二掩膜层表面的凸起结构膜层；以所述第一掩膜层为掩膜版，在压电层表面形成凹陷结构，其中，所述凹陷结构在所述衬底的正投影和所述凹陷结构窗口在所述衬底的正投影重合，所述凹陷结构的深度小于所述压电层的厚度；去除所述第一掩膜层。

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