恭喜兆易创新科技集团股份有限公司韩飞获国家专利权
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龙图腾网恭喜兆易创新科技集团股份有限公司申请的专利一种裸片和一种晶硅圆片获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN110911295B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201811086151.8,技术领域涉及:H01L21/66;该发明授权一种裸片和一种晶硅圆片是由韩飞;张赛;苏如伟设计研发完成,并于2018-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种裸片和一种晶硅圆片在说明书摘要公布了:本发明实施例公开了一种裸片和一种晶硅圆片。所述裸片包括:设置于裸片的顶层金属上且分别与裸片的不同的功能测试孔相连的至少两个冗余测试孔;其中,任意两个冗余测试孔的间距大于与其相连的两个功能测试孔的间距,冗余测试孔用于替代与其连接的功能测试孔与裸片所对应的测试针卡相连。本发明实施例的技术方案解决了现有技术中由于裸片中的功能测试孔间距较小,导致测试针卡制作难度大和制作成本高的技术缺陷,通过在裸片上增设孔距较大的冗余测试孔,使得测试针卡中的测试针的间距得以加大,由此降低了测试针卡的制作难度,进而降低了测试针卡的制作成本。
本发明授权一种裸片和一种晶硅圆片在权利要求书中公布了:1.一种裸片,其特征在于,包括:设置于所述裸片的顶层金属上且分别与所述裸片的不同的功能测试孔相连的至少两个冗余测试孔;其中,任意两个所述冗余测试孔的间距大于与其相连的两个所述功能测试孔的间距,所述冗余测试孔用于替代与其连接的所述功能测试孔与所述裸片所对应的测试针卡相连;所述测试针卡用于对所述裸片进行功能测试;所述冗余测试孔的面积大于等于与其相连的所述功能测试孔的面积;至少一个所述冗余测试孔在所述顶层金属以外的至少一个其他层金属中设置连接点;所述冗余测试孔以及与其相连的所述功能测试孔通过所述顶层金属和所述顶层金属以外的其他层金属相连。
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