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龙图腾网恭喜京东方科技集团股份有限公司申请的专利一种扫描曝光方法及装置、扫描曝光设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114675506B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210351933.X，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种扫描曝光方法及装置、扫描曝光设备是由冯京;刘鹏;王志冲;苌川川;袁广才;董学设计研发完成，并于2022-04-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种扫描曝光方法及装置、扫描曝光设备在说明书摘要公布了：本公开实施例提供一种扫描曝光方法及装置、扫描曝光设备。方法包括：根据待曝光基板的多个待曝光版图，确定目标扫描速度和各待曝光版图分别对应的预设曝光剂量；根据各待曝光版图和各预设曝光剂量，确定各预设曝光剂量在待曝光基板上对应的各曝光区域；根据各预设曝光剂量，确定参考曝光剂量；基于目标扫描速度对待曝光基板进行扫描，在扫描至各曝光区域的情况下，调节数字曝光机的数字微镜单元在曝光区域的曝光剂量为对应的目标曝光剂量；其中，根据曝光区域对应的预设曝光剂量、参考曝光剂量以及预设的目标剂量关系式，确定对应的目标曝光剂量。本公开的技术方案，可以实现一次扫描过程中的多剂量曝光，节约了曝光时间。

本发明授权一种扫描曝光方法及装置、扫描曝光设备在权利要求书中公布了：1.一种扫描曝光方法，其特征在于，应用于数字曝光设备，所述方法包括：根据待曝光基板的多个待曝光版图，确定目标扫描速度和各所述待曝光版图分别对应的预设曝光剂量；根据各所述待曝光版图和各所述预设曝光剂量，确定各所述预设曝光剂量在所述待曝光基板上对应的各曝光区域；根据各所述预设曝光剂量，确定参考曝光剂量；基于所述目标扫描速度对所述待曝光基板进行扫描，在扫描至各所述曝光区域的情况下，调节所述数字曝光设备的数字微镜单元在所述曝光区域的曝光剂量为对应的目标曝光剂量；根据所述曝光区域对应的预设曝光剂量、所述参考曝光剂量以及预设的目标剂量关系式，确定对应的所述目标曝光剂量；所述目标曝光剂量为所述数字曝光设备的数字微镜单元在扫描至任一所述曝光区域时所产生的曝光剂量；其中，所述根据待曝光基板的多个待曝光版图，确定目标扫描速度，包括：将各所述预设曝光剂量中的最大值对应的待曝光版图确定为基准曝光版图；根据扫描速度表达式，确定所述基准曝光版图的第一扫描速度；根据所述基准曝光版图的预设曝光剂量和预设的剂量与速度对应关系，确定所述基准曝光版图的第二扫描速度；将所述第一扫描速度和所述第二扫描速度中的最小值确定为所述目标扫描速度；其中，根据待曝光基板的多个待曝光版图，确定各所述待曝光版图分别对应的预设曝光剂量，包括：根据所述待曝光版图的图形密度和或曝光经验值确定出各所述待曝光版图分别对应的预设曝光剂量；其中，所述根据各所述预设曝光剂量，确定参考曝光剂量，包括：将各所述预设曝光剂量中的最大曝光剂量确定为所述参考曝光剂量；其中，所述根据所述曝光区域对应的预设曝光剂量、所述参考曝光剂量以及预设的目标剂量关系式，确定对应的所述目标曝光剂量，包括：计算所述曝光区域对应的预设曝光剂量和所述参考曝光剂量的比值；根据所述比值和所述目标剂量关系式，确定对应的所述目标曝光剂量。

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