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龙图腾网恭喜深圳市智鼎自动化技术有限公司申请的专利高精度激光刻蚀的参数调节方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119387874B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411976113.5，技术领域涉及：B23K26/362；该发明授权高精度激光刻蚀的参数调节方法及装置是由陈磊;蒋榕;苏飞设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本高精度激光刻蚀的参数调节方法及装置在说明书摘要公布了：本发明涉及激光刻蚀技术领域，公开了一种高精度激光刻蚀的参数调节方法及装置，所述方法包括：获取加工材料的基本参数和初步加工参数；根据所述初步加工参数，控制设备进行制样得到所述加工材料的加工样板，并对所述加工样板光刻结构表面进行刻蚀深度测量操作，得到所述加工样板的刻蚀深度；根据所述刻蚀深度，进行数据处理操作，得到平均刻蚀速率；根据所述平均刻蚀速率，利用线性回归公式建立激光刻蚀数据的关系模型；据所述关系模型和所述基本参数，进行激光功率调整操作，得到激光功率调整方案；根据所述激光功率调整方案，完成所有所述加工材料的工艺参数调节。本方法能够实现更加精细的工艺参数设置，满足高精度加工需求。

本发明授权高精度激光刻蚀的参数调节方法及装置在权利要求书中公布了：1.高精度激光刻蚀的参数调节方法，其特征在于，由控制器执行，包括：获取加工材料的基本参数和初步加工参数，所述基本参数包括加工材料的基本特性数据和工艺目标数据；根据所述初步加工参数，控制设备进行制样得到所述加工材料的加工样板，并对所述加工样板的光刻结构表面进行刻蚀深度测量操作，得到所述加工样板的刻蚀深度；根据所述刻蚀深度，进行数据处理操作，得到平均刻蚀速率；根据所述平均刻蚀速率，利用线性回归公式建立激光刻蚀数据的关系模型；根据所述关系模型和所述基本参数，进行激光功率调整操作，得到激光功率调整方案；根据所述激光功率调整方案，完成所有所述加工材料的工艺参数调节；其中，所述根据所述平均刻蚀速率，利用线性回归公式建立激光刻蚀数据的关系模型，包括：以聚焦深度为横坐标，所述平均刻蚀速率为纵坐标，计算关系模型的回归系数和截距，进行数据点拟合，建立激光刻蚀数据的关系模型；所述激光刻蚀数据的关系模型包括激光聚焦深度与所述平均刻蚀速率之间的关系模型；所述激光聚焦深度与所述平均刻蚀速率之间的关系模型表示为： ；其中，表示为所述平均刻蚀速率与激光聚焦深度的函数关系式，表示为激光聚焦深度，表示回归系数，表示截距；其中，计算关系模型的回归系数和截距，包括：使用最小二乘法来计算所述激光聚焦深度与刻蚀速率的回归系数和截距，计算公式表示为： ； ；其中，表示回归系数，表示截距，表示数据点的数量，表示为第个数据点的激光聚焦深度，表示对应第个数据点的平均刻蚀速率。

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