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龙图腾网恭喜天通瑞宏科技有限公司申请的专利一种滤波器的频率修调方法、装置、设备及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119382650B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411976849.2，技术领域涉及：H03H3/10；该发明授权一种滤波器的频率修调方法、装置、设备及介质是由张玲琴;毕秀文设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种滤波器的频率修调方法、装置、设备及介质在说明书摘要公布了：本发明公开了一种滤波器的频率修调方法、装置、设备及介质，该滤波器的频率修调方法包括：获取目标晶圆内多个目标滤波器的目标位置信息；多个所述目标滤波器均包括目标调频层，且各所述目标滤波器的目标调频层的厚度均相等；根据各所述目标滤波器的至少两个预设频率确定各所述目标滤波器对应的目标调频层的刻蚀厚度；根据所述目标位置信息和所述刻蚀厚度确定各所述目标滤波器对应的刻蚀时间；根据所述目标位置信息和所述刻蚀时间采用离子束刻蚀各所述目标滤波器对应的目标调频层。采用上述技术手段，能够保证目标晶圆内多个目标滤波器的频率值相同，进而能够提高目标晶圆的良率以及生产效率。

本发明授权一种滤波器的频率修调方法、装置、设备及介质在权利要求书中公布了：1.一种滤波器的频率修调方法，其特征在于，包括：获取目标晶圆内多个目标滤波器的目标位置信息；多个所述目标滤波器均包括目标调频层，且各所述目标滤波器的目标调频层的厚度均相等；根据各所述目标滤波器的至少两个预设频率确定各所述目标滤波器对应的目标调频层的刻蚀厚度；至少两个所述预设频率为所述目标滤波器的两个通带四条边频率；根据所述目标位置信息和所述刻蚀厚度确定各所述目标滤波器对应的刻蚀时间；根据所述目标位置信息和所述刻蚀时间采用离子束刻蚀各所述目标滤波器对应的目标调频层；其中，根据各所述目标滤波器的至少两个预设频率确定各所述目标滤波器对应的目标调频层的刻蚀厚度，包括：获取初始晶圆中多个初始滤波器的频率与多个所述初始滤波器的调频层的目标对应关系；所述目标对应关系为，其中，a和b为常数，ΔPSN为待刻蚀目标调频层的厚度；Δf为频率变化值；根据所述目标对应关系和各所述目标滤波器的至少两个预设频率确定各所述目标滤波器对应的目标调频层的刻蚀厚度；其中，根据所述目标对应关系和各所述目标滤波器的至少两个预设频率确定各所述目标滤波器对应的目标调频层的刻蚀厚度，包括；获取所述预设频率对应的合格频率范围；根据所述目标对应关系、所述预设频率以及所述合格频率范围确定各所述预设频率对应的目标调频层的刻蚀厚度范围；根据各所述预设频率对应的目标调频层的刻蚀厚度范围交集确定所述目标滤波器对应的目标调频层的刻蚀厚度范围；根据所述目标滤波器对应的目标调频层的刻蚀厚度范围的平均值确定各所述目标滤波器对应的目标调频层的刻蚀厚度。

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