恭喜无锡邑文微电子科技股份有限公司;江苏邑文微电子科技有限公司石宇获国家专利权
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龙图腾网恭喜无锡邑文微电子科技股份有限公司;江苏邑文微电子科技有限公司申请的专利转运装置及真空处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119480738B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510031697.7，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权转运装置及真空处理设备是由石宇;娄俊飞;高修奎;杨文宾设计研发完成，并于2025-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本转运装置及真空处理设备在说明书摘要公布了：本发明属于半导体转运的技术领域，公开了转运装置及真空处理设备。转运装置包括承载台、驱动组件以及多个托盘。托盘用于承载工件，每个托盘均通过调整组件活动连接于承载台，多个调整组件用于带动多个托盘沿不同方向活动；驱动组件设置于承载台并与多个调整组件连接以同时驱动多个调整组件沿不同方向动作。该转运装置在使用时，仅依靠一组驱动组件配合多个调整组件即可实现多个工件的朝向和间距的调整，有效减少了整体结构的复杂度，同时也有利于降低实现工件朝向和间距调节的成本。
本发明授权转运装置及真空处理设备在权利要求书中公布了：1.转运装置，其特征在于，包括：承载台1；多个托盘3，所述托盘3用于承载工件，每个所述托盘3均通过调整组件4活动连接于所述承载台1，所述调整组件4用于带动所述托盘3活动，且多个所述托盘3的活动方向不同；驱动组件2，所述驱动组件2设置于所述承载台1，所述驱动组件2包括齿轮组或带传动结构，所述齿轮组或所述带传动结构与多个所述调整组件4连接，以同时驱动多个所述调整组件4沿不同方向动作；所述调整组件4包括：旋转盘41，转动连接于所述承载台1并与所述驱动组件2连接，所述驱动组件2用于驱动所述旋转盘41旋转，所述托盘3滑动连接于所述旋转盘41；推送齿轮42，固定于所述承载台1；推送齿条43，固定于所述托盘3并与所述推送齿轮42啮合，随着所述托盘3同步旋转的同时推动所述托盘3滑动。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人无锡邑文微电子科技股份有限公司;江苏邑文微电子科技有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市新吴区观山路1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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