恭喜上海新傲芯翼科技有限公司汪子文获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海新傲芯翼科技有限公司申请的专利键合晶圆的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119480788B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510058774.8，技术领域涉及：H01L21/762；该发明授权键合晶圆的制备方法是由汪子文;冯英华;魏星;李炜设计研发完成，并于2025-01-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本键合晶圆的制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供了键合晶圆的制备方法，包括：提供器件晶圆和支撑晶圆，器件晶圆和或支撑晶圆的表面形成有氧化层；对器件晶圆执行离子注入工艺；将器件晶圆离子注入后的一侧和支撑晶圆进行键合形成键合晶圆；对键合晶圆进行平坦化处理，平坦化处理包括快速热退火工艺、减薄工艺以及氩退火工艺，其中，先依次执行快速热退火工艺和减薄工艺至少一次，后执行氩退火工艺，并根据快速热退火工艺和减薄工艺的执行次数调节氩退火工艺的温度。本发明能够减轻在键合晶圆中产生的形变和滑移线。
本发明授权键合晶圆的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种键合晶圆的制备方法，其特征在于，包括：提供器件晶圆和支撑晶圆，所述器件晶圆和或所述支撑晶圆的表面形成有氧化层；对所述器件晶圆执行离子注入工艺；将所述器件晶圆离子注入后的一侧和所述支撑晶圆进行键合形成键合晶圆；对所述键合晶圆进行平坦化处理，所述平坦化处理包括快速热退火工艺、减薄工艺以及氩退火工艺，其中，先依次执行所述快速热退火工艺和所述减薄工艺至少一次，后执行所述氩退火工艺，并根据所述快速热退火工艺和所述减薄工艺的执行次数调节所述氩退火工艺的温度。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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