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龙图腾网恭喜惠然科技有限公司申请的专利用于带电粒子束系统中保持物镜恒温的方法及设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119480589B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510063918.9，技术领域涉及：H01J37/141；该发明授权用于带电粒子束系统中保持物镜恒温的方法及设备是由李山磊;杨思源;王志斌设计研发完成，并于2025-01-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于带电粒子束系统中保持物镜恒温的方法及设备在说明书摘要公布了：本申请涉及电磁线圈技术领域，公开了一种用于带电粒子束系统中保持物镜恒温的方法及设备。所述方法包括：确定所述物镜的线圈产生磁场所需的最大安匝数并根据所述最大安匝数确定所述物镜的发热总功率；获取所述粗调线圈、所述细调线圈和所述功率补偿线圈各线圈对应的线圈匝数和电阻值；以及根据目标安匝数、所述发热总功率、所述各线圈对应的线圈匝数和电阻值协调所述粗调线圈、所述细调线圈和所述功率补偿线圈各线圈对应的电流值，以保持所述物镜恒温。利用本申请的方案，可以在不同的工作状态下保持功率恒定，以保持物镜恒温。

本发明授权用于带电粒子束系统中保持物镜恒温的方法及设备在权利要求书中公布了：1.一种用于带电粒子束系统中保持物镜恒温的方法，其特征在于，所述物镜包括粗调线圈、细调线圈和功率补偿线圈，所述功率补偿线圈与所述粗调线圈、所述细调线圈具有相反的磁场，并且所述方法包括：确定所述物镜的线圈产生磁场所需的最大安匝数并根据所述最大安匝数确定所述物镜的发热总功率；获取所述粗调线圈、所述细调线圈和所述功率补偿线圈各线圈对应的线圈匝数和电阻值；以及，根据目标安匝数、所述发热总功率、所述各线圈对应的线圈匝数和电阻值协调所述粗调线圈、所述细调线圈和所述功率补偿线圈各线圈对应的电流值，以保持所述物镜恒温，其中所述粗调线圈、所述细调线圈和所述功率补偿线圈各线圈对应的电流值设有最大激励值，并且通过以下操作确定所述物镜的发热总功率：根据所述最大安匝数获取所述粗调线圈和所述细调线圈各自对应的电流值的最大激励值；以及，基于所述各自对应的电流值的最大激励值和所述粗调线圈和所述细调线圈各自对应的电阻值计算获得所述物镜的发热总功率；其中根据目标安匝数、所述发热总功率、所述各线圈对应的线圈匝数和电阻值协调所述粗调线圈、所述细调线圈和所述功率补偿线圈各线圈对应的电流值包括：通过以下式子协调所述粗调线圈、所述细调线圈和所述功率补偿线圈各线圈对应的电流值： 其中，表示目标安匝数，表示所述物镜的发热总功率，、和分别表示所述粗调线圈、所述细调线圈和所述功率补偿线圈各线圈对应的电流值，、和分别表示所述粗调线圈、所述细调线圈和所述功率补偿线圈各线圈对应的线圈匝数；、和分别表示所述粗调线圈、所述细调线圈和所述功率补偿线圈各线圈对应的电阻值。

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