恭喜ASML荷兰有限公司N·潘迪获国家专利权
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龙图腾网恭喜ASML荷兰有限公司申请的专利用于量测设备的照射和检测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114270269B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080058446.3，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权用于量测设备的照射和检测设备是由N·潘迪;S·G·J·马斯杰森;K·布哈塔查里亚;A·J·登博夫设计研发完成，并于2020-07-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于量测设备的照射和检测设备在说明书摘要公布了：公开了一种用于量测工具的照射和检测设备以及相关方法。该设备包括照射装置，该照射装置能够被操作以产生测量照射，该测量照射包括多个离散波长带并且在每个波长带内包括具有至多单个峰的光谱。该检测装置包括检测分束器以将散射辐射分成多个通道，每个通道与所述波长带中的不同的波长带相对应；以及至少一个检测器，用于分开地检测每个通道。
本发明授权用于量测设备的照射和检测设备在权利要求书中公布了：1.一种用于量测工具的照射和检测设备，包括：照射装置，所述照射装置包括用于将输入束分成多个子束的照射分束器，并且能够被操作以产生测量照射，所述测量照射包括多个离散波长带并且在每个波长带内包括具有至多单个峰的光谱；以及检测装置，包括：检测分束器，用于将散射辐射分成多个通道，每个通道与所述波长带中的不同的波长带相对应；以及至少一个检测器，用于分开地检测每个通道。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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