恭喜中微半导体设备(上海)股份有限公司王恒阳获国家专利权
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龙图腾网恭喜中微半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利一种集尘器、等离子体处理设备及调压方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114582694B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011392147.1，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种集尘器、等离子体处理设备及调压方法是由王恒阳;连增迪;吴狄设计研发完成，并于2020-12-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种集尘器、等离子体处理设备及调压方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种集尘器，等离子体处理设备及调压方法，包括与等离子设备腔室相连的气体管道，真空泵，位于腔室和真空泵之间的圆环形的第一框架，通过第一转动轴与第一框架的侧壁连接的多个叶片，多个所述叶片之间按照一定间隔排列，电压设备，用于在相邻两个叶片之间施加不同极性电压，可以在等离子体反应过程中，利用静电吸附原理，将反应过程中产生的大颗粒灰尘固定在通电的叶片上，倾斜的叶片还可以阻挡气体管道中的颗粒逆流回反应腔，并且叶片的倾斜角度可以调整，以适应反应腔内所需气压。
本发明授权一种集尘器、等离子体处理设备及调压方法在权利要求书中公布了：1.一种集尘器，用于等离子体处理设备的腔室除尘，其特征在于，包括：与所述腔室相连的气体管道；真空泵，其通过所述气体管道从所述腔室中抽气；圆环形的第一框架，所述第一框架位于所述腔室和真空泵之间；通过第一转动轴与所述第一框架的侧壁连接的多个叶片，多个所述叶片之间按照一定间隔排列；第一转动环，其一侧具有齿轮轨道，所述第一转动轴贯通所述第一框架的侧壁后与齿轮固定连接，所述齿轮与所述第一转动环的齿轮轨道配合运动；第二转动环，其一侧具有齿轮轨道，相邻两个所述齿轮分别与所述第一转动环和所述第二转动环的齿轮轨道配合运动；电压设备，其分别与所述第一转动环和第二转动环电连接，用于在相邻两个叶片之间施加不同极性电压。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中微半导体设备(上海)股份有限公司，其通讯地址为：201201 上海市浦东新区金桥出口加工区(南区)泰华路188号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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