恭喜中国原子能科学研究院李笑梅获国家专利权
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龙图腾网恭喜中国原子能科学研究院申请的专利微网探测器的制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114538368B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210004351.4,技术领域涉及:B81C1/00;该发明授权微网探测器的制作方法是由李笑梅;宋金兴;孙鹏飞;孙浩;周静;胡守扬;陈雷;李沛玉;智宇;赵明锐;贾世海;张昀昱设计研发完成,并于2022-01-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本微网探测器的制作方法在说明书摘要公布了:本申请公开了一种微网探测器的制作方法,包括:备好读出阳极板和金属微网;在所述读出阳极板上涂抹液体光刻胶至预设厚度,以形成光刻胶层;将所述金属微网覆设于所述光刻胶层,并进行刻蚀以形成绝缘支柱;在所述读出阳极板上制作漂移电极,完成所述微网探测器的制作。在上述的微网探测器的制作方法中采用液体光刻胶涂抹至预设厚度,避免了因固态光刻胶多次叠加导致成品率不足的情况,从而提高了微网探测器的质量与成品率。通过对光刻胶层刻蚀以形成绝缘支柱,从而可以通过光刻设备进行批量化制作,提高制作效率,实现批量化生产。
本发明授权微网探测器的制作方法在权利要求书中公布了:1.一种微网探测器的制作方法,其特征在于,包括:备好读出阳极板和金属微网;在所述读出阳极板上涂抹液体光刻胶至预设厚度,以使液体光刻胶一次性形成预设厚度的单层光刻胶层;将所述金属微网覆设于所述光刻胶层;将掩膜板盖设于所述光刻胶层,曝光并刻蚀后形成中空支柱;对所述中空支柱灌注绝缘胶,以形成绝缘支柱;在所述读出阳极板上制作漂移电极,完成所述微网探测器的制作。
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