恭喜科磊股份有限公司F·W·奥斯特贝格获国家专利权
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龙图腾网恭喜科磊股份有限公司申请的专利用于测量高电阻测试样本的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116868066B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202280015761.7,技术领域涉及:G01R27/02;该发明授权用于测量高电阻测试样本的方法是由F·W·奥斯特贝格;K·G·卡尔豪格;M·F·汉森设计研发完成,并于2022-05-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于测量高电阻测试样本的方法在说明书摘要公布了:为了使用微观多点探针测量高电阻率层的电阻面积乘积,所述高电阻率层夹在两个导电层之间。多个电极配置位置用于执行三个电压或电阻测量。等效电路模型三层模型用于将所述电阻面积乘积确定为所述三个测量的函数。
本发明授权用于测量高电阻测试样本的方法在权利要求书中公布了:1.一种用于确定多层测试样本的电特性的方法,其包括:提供所述多层测试样本,其中所述多层测试样本包含:底层,其构成第一导电或半导体层;界面层;顶层,其构成第二导电或半导体层,其中所述界面层安置于所述底层与所述顶层之间,其中所述界面层具有比所述底层及所述顶层更小的电导率;且其中所述界面层具有厚度使得所述界面层大体上构成欧姆导体,且使得与穿过所述界面层的电子总输运相比,通过量子穿隧穿过所述界面层的电子输运可忽略不计;提供微观多点探针,所述微观多点探针具有用于接触所述顶层的接触探针组;将所述顶层与所述接触探针组接触;测量接触探针的多个间隔中的每一者的多个电压或电阻,其中一对接触探针用于每一电阻或电压测量;提供用于确定所述界面层的电阻面积乘积的模型,其中所述模型接收所述多个电压或电阻作为输入,且返回所述电阻面积乘积作为输出;及通过所述模型确定所述电阻面积乘积。
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