恭喜北京北方华创微电子装备有限公司邓曾红获国家专利权
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龙图腾网恭喜北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利漏液检测装置及半导体清洗设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115290263B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210903220.X，技术领域涉及：G01M3/04；该发明授权漏液检测装置及半导体清洗设备是由邓曾红;马宏帅设计研发完成，并于2022-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本漏液检测装置及半导体清洗设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种漏液检测装置及半导体清洗设备；其中，漏液检测装置设置在半导体清洗设备的外槽和内槽之间，其包括：液位传感器、外壳和供气组件；其中，液位传感器设置于外壳的内腔中；外壳上开设有分别与内腔和外槽连通的气液通道；气液通道用于在外槽内部液面达到预设阈值高度时，供外槽内部液体流入内腔中；供气组件与内腔连通，用于向内腔中输送阻隔气体，以使内腔内部气压达到预设阻隔压力；其中，预设阻隔压力大于外部环境气压，且小于外槽内的液面所述预设阈值高度时对内腔的压力，从而在实现对液位传感器的有效密封的同时，保证及时对液面进行监测，减少漏液传感器被误触发问题的发生。
本发明授权漏液检测装置及半导体清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种漏液检测装置，用于半导体清洗设备，所述漏液检测装置设置于所述半导体清洗设备的外槽和内槽之间；其特征在于，漏液检测装置包括：液位传感器、外壳和供气组件；其中，所述液位传感器设置于所述外壳的内腔中；所述外壳上开设有分别与所述内腔和所述外槽连通的气液通道；所述气液通道用于在所述外槽内部液面达到预设阈值高度时，供所述外槽内部液体流入所述内腔中；所述供气组件与所述内腔连通，用于向所述内腔中输送阻隔气体，以使所述内腔内部气压达到预设阻隔压力；其中，所述预设阻隔压力大于外部环境气压，且小于所述外槽内的液面达到所述预设阈值高度时对所述内腔的压力。
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