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恭喜西安理工大学王彩琳获国家专利权

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龙图腾网恭喜西安理工大学申请的专利具有沟槽-平面柵的发射极开关晶闸管及其制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114628507B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210241564.9,技术领域涉及:H10D64/27;该发明授权具有沟槽-平面柵的发射极开关晶闸管及其制造方法是由王彩琳;杨武华;郭佳睿;张超;苏乐设计研发完成,并于2022-03-11向国家知识产权局提交的专利申请。

具有沟槽-平面柵的发射极开关晶闸管及其制造方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种具有沟槽‑平面柵的发射极开关晶闸管,以n‑漂移区作为衬底,n‑漂移区上方设有交叠的左、右侧p基区,左、右侧p基区中各设有n+浮置区及n+阴极区;左侧p基区的左侧设有沟槽,该沟槽底部低于p基区底部,形成沟槽柵极;p基区相互交叠区及n+阴极区部分上表面设有平面柵极;沟槽栅极与平面栅极相连构成栅极G;左、右两侧p基区内设置有p++层;n+阴极区右侧部分和右侧p基区部分上表面设有铝金属化阴极K;n‑漂移区下表面依次设有n缓冲层、p+阳极区、金属化阳极A。本发明还公开了该种发射极开关晶闸管的制备方法。本发明的器件,转折电压低、导通损耗低、最大可关断电流高,制作简单。

本发明授权具有沟槽-平面柵的发射极开关晶闸管及其制造方法在权利要求书中公布了:1.一种具有沟槽-平面柵的发射极开关晶闸管,其特征在于:以n-漂移区作为衬底,在n-漂移区上方设置有相互交叠的左、右两侧p基区,左侧p基区中设置有n+浮置区,右侧p基区中设置有n+阴极区;在左侧p基区的左侧设置有一个沟槽,该沟槽底部低于p基区底部,该沟槽内填充有柵氧化层和重掺杂的多晶硅,形成沟槽柵极;在p基区相互交叠区及n+阴极区左侧部分上表面共同设置有柵氧化层和重掺杂的多晶硅,形成平面柵极;沟槽栅极与平面栅极相连构成栅极G;在相互交叠的左、右两侧p基区内设置有p++层,p++层的左侧水平位置与平面栅极左侧对齐,p++层的顶部与n+阴极区的底部相接;n+阴极区右侧部分和右侧p基区部分上表面共同设置有铝金属化阴极K;n-漂移区下表面设置有n缓冲层,n缓冲层下表面设置有p+阳极区,p+阳极区下表面设置有多层的金属化阳极A。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人西安理工大学,其通讯地址为:710048 陕西省西安市碑林区金花南路5号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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