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龙图腾网恭喜济南信德大数据有限公司申请的专利一种离子植入机旋转角度监控系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN109920714B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910190627.0，技术领域涉及：H01J37/317；该发明授权一种离子植入机旋转角度监控系统是由刘鹏成设计研发完成，并于2019-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种离子植入机旋转角度监控系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种离子植入机旋转角度监控系统，包括高真空腔体部分与大气部分，所述高真空腔体部分的下端设置有大气部分，所述高真空腔体部分与大气部分通过套接连接，所述大气部分的下端设置有原机台柔性电缆，本发明一种离子植入机旋转角度监控系统利用一个软件硬件结合的系统来对最后的旋转吸盘的传动齿轮进行检测并得到数据传输给计算机系统，系统利用SPC软件来根据不同的旋转角度设置不同的限制，一旦超过范围则软件将给信号主机台产生报警，然后工程师根据报警去排查并解决问题，解决了离子植入机旋转角度监控中的ROPLAT旋转角度无法在线实时监控，避免了由于没有实时检测导致的大批晶圆报废的问题。

本发明授权一种离子植入机旋转角度监控系统在权利要求书中公布了：1.一种离子植入机旋转角度监控系统，包括高真空腔体部分1与大气部分2，其特征在于：所述高真空腔体部分1的下端设置有大气部分2，所述高真空腔体部分1与大气部分2通过套接连接，所述大气部分2的下端设置有原机台柔性电缆3，所述原机台柔性电缆3的右端设置有连接机台原控制器4，所述连接机台原控制器4的右端设置有新增传感器连线5，所述新增传感器连线5的上端设置有电机反馈控制线6，所述电机反馈控制线6的上端设置有控制接口7，所述控制接口7的上端设置有主控制器9，所述主控制器9的左端的外侧表端设置有功能选择开关8，所述功能选择开关8的右端设置有电源插座10，所述电源插座10的下端设置有通讯插头11，所述主控制器9的右端设置有工业控制主机14，所述主控制器9与工业控制主机14通过电性连接，所述工业控制主机14的下端设置有鼠标13，所述鼠标13与工业控制主机14通过电性连接，所述工业控制主机14的下端设置有键盘12，所述工业控制主机14的上端设置有显示器15，所述显示器15与工业控制主机14通过电性连接，所述显示器15为十八点五英寸液晶屏，分辨率为1366乘768，所述显示器15的尺寸为宽度为44cm并且高度为34cm，所述新增传感器连线5共设置有三组，三组所述新增传感器连线5分别呈对称设置在连接机台原控制器4的右端，两根所述新增传感器连线5的外部壳体采用PP环保材料制成的，并采用工业高柔拖链屏蔽信号线，所述主控制器9为矩形体结构，所述主控制器9的尺寸为长度为26cm、宽度为15cm，并且高度为8cm，所述功能选择开关8为拨扭圆柱体结构，所述功能选择开关8的尺寸为最大直径为6mm，所述功能选择开关8与电源开关电性连接，所述原机台柔性电缆3得外部壳体的材料是采用PP环保材料制成的，所述原机台柔性电缆3共设置有两根，两根所述原机台柔性电缆3的截面直径为40mm，所述键盘12采用有线连接，所述键盘12与工业控制主机14通过电性连接，所述键盘12与显示器15通过电性连接，当要进行半导体晶圆的生产时，首先主控制器（9）将传感器的脉冲信号进行计数，主控制器（9）与电源开关电性连接，主控制器（9）的型号为HRTC-03A，连接机台原控制器（4）用来感应传动齿轮的齿数，包含高真空腔体部分和大气部分的连接线，连接到主控制器（9），每完成一次旋转就产生一个数据值并传送至主机，由主机转换成角度数值并进行记录，主机系统由一个SPC分析软件构成，多次旋转的角度值构成数据链，利用设置上限和下限的报警规则来产生报警，并且设置的下限是八十九度，上限是九十一度，若是多个采样中有两个样本超出设置的上限或下限范围，软件就会报警，当连续几次旋转角度异常超出范围，主机端会产生报警。

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