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龙图腾网恭喜科磊股份有限公司申请的专利扫描散射测量叠盖测量获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116783474B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180086549.5，技术领域涉及：G01N21/88；该发明授权扫描散射测量叠盖测量是由A·V·希尔;A·玛纳森设计研发完成，并于2021-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本扫描散射测量叠盖测量在说明书摘要公布了：一种叠盖度量系统可包含照明子系统，所述照明子系统用以利用第一照明瓣及与所述第一照明瓣对置的第二照明瓣依序对叠盖目标进行照明，其中所述叠盖目标包含从第一样本层及第二样本层上的周期性结构形成的光栅上覆光栅特征。所述系统可进一步包含用以产生所述叠盖目标的第一图像及第二图像的成像子系统。所述第一图像包含所述光栅上覆光栅结构的从所述第一照明瓣的单个非零衍射级形成的未解析图像。所述第二图像包含所述一或多个光栅上覆光栅结构的从所述第二照明瓣的单个非零衍射级形成的未解析图像。所述系统可进一步包含用以基于所述第一图像及所述第二图像而确定所述第一层与所述第二层之间的叠盖误差的控制器。

本发明授权扫描散射测量叠盖测量在权利要求书中公布了：1.一种叠盖度量系统，其包括：照明子系统，其经配置以利用第一照明瓣及与所述第一照明瓣对置的第二照明瓣依序对样本上的叠盖目标进行照明，其中所述叠盖目标包含从第一样本层及第二样本层上的周期性结构形成的一或多个光栅上覆光栅特征，其中所述一或多个光栅上覆光栅结构沿着测量方向为周期性的；成像子系统，其包括：物镜；及检测器，其经配置以产生所述叠盖目标的第一图像及第二图像，其中所述第一图像包含所述一或多个光栅上覆光栅结构的从所述第一照明瓣的单个非零衍射级形成的未解析图像，所述单个非零衍射级是通过所述一或多个光栅上覆光栅结构沿着所述测量方向产生的，其中所述第二图像包含所述一或多个光栅上覆光栅结构的从所述第二照明瓣的单个非零衍射级形成的未解析图像，所述单个非零衍射级是通过所述一或多个光栅上覆光栅结构沿着所述测量方向产生的，其中所述检测器包括扫描检测器，所述扫描检测器经配置以在所述样本通过平移载台而平移穿过所述物镜的测量场的同时产生所述第一图像及所述第二图像；以及控制器，其通信地耦合到所述检测器，所述控制器包含一或多个处理器，所述一或多个处理器经配置以执行程序指令，从而致使所述一或多个处理器基于所述第一图像及所述第二图像而确定所述样本的所述第一样本层与所述第二样本层之间沿着所述测量方向的叠盖误差。

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