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龙图腾网恭喜清华大学申请的专利样品台、薄膜生长设备和原位测量系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114622177B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210128721.5，技术领域涉及：C23C14/50；该发明授权样品台、薄膜生长设备和原位测量系统是由陈迪;赵云;许建兵;苏虹阳;刘鹏设计研发完成，并于2022-02-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本样品台、薄膜生长设备和原位测量系统在说明书摘要公布了：本发明公开了样品台、薄膜生长设备和原位测量系统。该原位样品台包括导热样品座、配套使用的用于固定衬底的第一环形绝缘压片、第二环形绝缘压片和紧固件，以及两组探针组件。探针组件中探针臂支架上部设有探针臂通道且中部设有弹性件，探针臂穿过探针臂通道且可上下移动和或水平转动；弹性件的一端与探针臂支架相连，弹性件的另一端与探针臂可拆卸相连；金属导线贯穿探针臂且其一端与金属探针相连另一端适于与电化学测试装置相连；弹性件与探针臂相连时处于拉伸状态，探针臂在弹性件的回弹力作用下可使金属探针与集电极接触。采用该样品台可实现薄膜生长设备和电化学测试装置的耦合，原位精确、方便、高效地测试薄膜样品的高温电化学性能。

本发明授权样品台、薄膜生长设备和原位测量系统在权利要求书中公布了：1.一种用于薄膜生长及电化学测试的原位样品台，其特征在于，包括：导热样品座，所述导热样品座上设有固定孔；第一环形绝缘压片，所述第一环形绝缘压片上设有与所述固定孔对应的第一通孔，所述第一环形绝缘压片适于与所述导热样品座贴合并支撑衬底，所述衬底远离所述第一环形绝缘压片的一侧上设有两个集电极；第二环形绝缘压片，所述第二环形绝缘压片上设有与所述第一通孔对应的第二通孔，所述第二环形绝缘压片适于覆盖所述衬底的周向边缘并裸露出所述集电极；紧固件，所述紧固件适于贯穿所述第二通孔和所述第一通孔并与所述固定孔可拆卸相连；两组探针组件，每组所述探针组件分别独立地包括金属探针、金属导线、探针臂和探针臂支架：所述探针臂支架邻近所述导热样品座的端部设置，所述探针臂支架上部设有探针臂通道且中部设有弹性件，所述探针臂穿过所述探针臂通道且可上下移动和或水平转动；所述弹性件的一端与所述探针臂支架相连，所述弹性件的另一端与所述探针臂可拆卸相连；所述金属导线贯穿所述探针臂，且所述金属导线的一端与所述金属探针相连，所述金属导线的另一端适于与电化学测试装置相连；所述弹性件与所述探针臂相连时处于拉伸状态，所述探针臂在所述弹性件的回弹力作用下可使所述金属探针与所述集电极接触；还包括：热电偶，所述热电偶贯穿所述探针臂支架并伸入所述第一环形绝缘压片中；所述紧固件与所述固定孔螺纹相连、卡接相连或插拔相连。

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