恭喜宁波江丰电子材料股份有限公司姚力军获国家专利权
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龙图腾网恭喜宁波江丰电子材料股份有限公司申请的专利一种氧化铌靶材的制备方法及用途获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116813346B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311039875.8，技术领域涉及：C04B35/495；该发明授权一种氧化铌靶材的制备方法及用途是由姚力军;潘杰;吴东青;黄洁文设计研发完成，并于2023-08-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氧化铌靶材的制备方法及用途在说明书摘要公布了：本发明提供一种氧化铌靶材的制备方法及用途，所述制备方法包括如下步骤：1混合五氧化二铌粉末和聚乙烯醇粘结剂，经喷雾造粒得到混合料；2所述混合料经冷压处理，得到生坯；3将所述生坯在氢气氛围中进行失氧无压烧结后，经机加工，得到氧化铌靶材。本发明所述制备方法操作简单，将氧化铌生坯在氢气氛围中进行特定条件的失氧无压烧结，得到了致密度高且导电性能优异的氧化钼钽溅射靶材，适合大规模推广应用。
本发明授权一种氧化铌靶材的制备方法及用途在权利要求书中公布了：1.一种导电性能优异的氧化铌靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：1混合五氧化二铌粉末和聚乙烯醇粘结剂，经喷雾造粒得到混合料；2所述混合料经冷压处理，得到生坯；3将所述生坯在氢气氛围中进行失氧无压烧结后，经机加工，得到氧化铌靶材；所述失氧无压烧结过程中先抽真空，再通氢气开始升温，控制升温速度为2～5℃min；所述氢气的流量为300～600sccm；通氢气的时间为60～120min；所述失氧无压烧结的温度为400～800℃；所述失氧无压烧结的保温时间为60～120min；所述失氧无压烧结后停止通入氢气，抽真空至≤50Pa，通保护气体继续升温至1200℃～1350℃，保温8～15h；所述喷雾造粒机的雾化器转速为10000～20000转min；所述喷雾造粒机的蠕动泵转速为50～200转min；所述喷雾造粒机的进风温度为250～400℃；所述喷雾造粒机的出风温度为80～200℃。
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