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龙图腾网恭喜无锡邑文微电子科技股份有限公司;江苏邑文微电子科技有限公司申请的专利一种阻抗匹配方法和半导体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119480604B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510052754.X，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种阻抗匹配方法和半导体设备是由吴元明;邢浩;杨永博;孙文彬设计研发完成，并于2025-01-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种阻抗匹配方法和半导体设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种阻抗匹配方法和半导体设备，阻抗匹配方法包括：确定电源的输出阻抗的预设幅值和预设相位；采集匹配器的输入端的幅值和相位；在幅值与预设幅值的差值小于第一差值，相位与预设相位的差值小于第二差值的情况下，确定在当前时间段内的电源的反射功率的平均值小于反射功率不良临界值；确定在当前时间段内的匹配器的输出端每一电压值大于电压阈值的第一风险次数或者每一电流值大于电流阈值的第二风险次数；在第一风险次数或者第二风险次数小于或等于预设风险次数的情况下，所述幅值和所述相位使得所述电源的输出阻抗与所述设备腔室的负载阻抗相匹配，本发明可以实现快速、稳定、高效的阻抗匹配，提高工艺结果的稳定性。

本发明授权一种阻抗匹配方法和半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种阻抗匹配方法，其特征在于，阻抗匹配电路包括：电源、匹配器和设备腔室；所述设备腔室包括线圈和负载阻抗，所述电源与所述匹配器的输入端连接，所述匹配器的输出端与所述设备腔室的线圈连接；所述阻抗匹配方法包括：确定所述匹配器的输入端的预设幅值和预设相位；所述预设幅值和所述预设相位使得所述电源的输出阻抗与所述设备腔室的负载阻抗相匹配；采集所述匹配器的输入端的幅值和相位；在所述幅值与所述预设幅值的差值小于第一差值，所述相位与所述预设相位的差值小于第二差值的情况下，确定在当前时间段内的所述电源的反射功率的平均值；其中，所述第一差值为所述幅值与所述预设幅值的误差范围的绝对值，第二差值为所述相位与所述预设相位的误差范围的绝对值；确定所述电源的反射功率的平均值小于反射功率不良临界值；获取在当前时间段内的所述匹配器的输出端的所有电压值或所有电流值；确定每一电压值大于电压阈值的第一风险次数，或者每一电流值大于电流阈值的第二风险次数；在所述第一风险次数或者所述第二风险次数小于或等于预设风险次数的情况下，所述幅值和所述相位使得所述电源的输出阻抗与所述设备腔室的负载阻抗相匹配。

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