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恭喜应用材料公司沙西亚穆提·戈文达萨米获国家专利权

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龙图腾网恭喜应用材料公司申请的专利掩模框架支撑元件、边缘排除掩模、掩模框架元件、基板支撑件、基板处理设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222648077U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202190001062.8,技术领域涉及:C23C14/04;该实用新型掩模框架支撑元件、边缘排除掩模、掩模框架元件、基板支撑件、基板处理设备是由沙西亚穆提·戈文达萨米;马库斯·哈尼卡;布里希·拉贾;沃尔夫冈·克莱因设计研发完成,并于2021-09-20向国家知识产权局提交的专利申请。

掩模框架支撑元件、边缘排除掩模、掩模框架元件、基板支撑件、基板处理设备在说明书摘要公布了:描述一种掩模框架支撑元件、一种边缘排除掩模、一种掩模框架元件、一种基板支撑件和一种基板处理设备。用于掩模框架支撑件的掩模框架支撑元件沿被配置为沿基板的侧边缘延伸的第一方向包括:突出区段,所述突出区段被配置为提供与所述基板的接触;和凹陷区段,所述凹陷区段被配置为将掩模框架的部分耦接到所述掩模框架支撑件。掩模框架元件包括主体,所述主体具有掩模边缘,所述掩模边缘沿被配置为沿基板的侧边缘延伸的第一方向延伸。所述主体具有突出部,所述突出部向下延伸并提供所述掩模边缘。所述突出部包括:第一区段,所述第一区段具有第一宽度,所述第一宽度从所述掩模边缘延伸远离所述掩模边缘;和第二区段,所述第二区段具有比所述第一宽度更大的第二宽度,所述第二宽度从所述掩模边缘远离所述掩模边缘延伸。

本实用新型掩模框架支撑元件、边缘排除掩模、掩模框架元件、基板支撑件、基板处理设备在权利要求书中公布了:1.一种用于掩模框架支撑件的掩模框架支撑元件,其特征在于沿被配置为沿基板的侧边缘延伸的第一方向包括:突出区段,所述突出区段被配置为提供与所述基板的接触;和凹陷区段,所述凹陷区段被配置为将掩模框架的部分耦接到所述掩模框架支撑件。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人应用材料公司,其通讯地址为:美国加利福尼亚州;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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