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龙图腾网恭喜沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请的专利一种晶圆光刻胶及金属剥离工艺中的防雾气外溢装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110739242B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201810794940.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆光刻胶及金属剥离工艺中的防雾气外溢装置是由关贺聲;王一设计研发完成，并于2018-07-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆光刻胶及金属剥离工艺中的防雾气外溢装置在说明书摘要公布了：本发明属于晶圆制造技术领域，特别涉及一种晶圆光刻胶及金属剥离工艺中的防雾气外溢装置。包括固定防溅环、内防溅环、一级过滤装置、升降防溅环、升降防溅环驱动机构及排风管路，其中固定防溅环、内防溅环及升降防溅环由外到内依次嵌套设置、且内防溅环与固定防溅环之间留有环隙，一级过滤装置设置于内防溅环的下端，升降防溅环驱动机构与升降防溅环连接，用于驱动升降防溅环升降，排风管路与固定防溅环连接、且与内防溅环与固定防溅环之间的环隙连通。本发明具有三层过滤系统以及特有的排风流场，阻止金属碎屑进入排风管道及雾气凝结后累积在排风管道中，解决了以往剥离腔体做工艺时出现的雾气外溢，风道堵塞及金属回收率低等问题。

本发明授权一种晶圆光刻胶及金属剥离工艺中的防雾气外溢装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆光刻胶及金属剥离工艺中的防雾气外溢装置，其特征在于，包括固定防溅环1、内防溅环3、一级过滤装置、升降防溅环15、升降防溅环驱动机构及排风管路7，其中固定防溅环1、内防溅环3及升降防溅环15由外到内依次嵌套设置、且内防溅环3与固定防溅环1之间留有环隙，所述一级过滤装置设置于所述内防溅环3的下端，所述升降防溅环驱动机构与所述升降防溅环15连接，用于驱动所述升降防溅环15升降，所述排风管路7与所述固定防溅环1连接、且与所述内防溅环3与固定防溅环1之间的环隙连通；所述固定防溅环1包括固定防溅环壁101、固定防溅环底板102及排风盒104，其中固定防溅环底板设置于固定防溅环壁101的下端、且与工艺腔体24的单元底板19密封连接，所述固定防溅环壁101上沿周向设有多个排风口106，各排风口106处均设有二级过滤网6，所述排风盒104设置于所述固定防溅环壁101的外侧，所述排风口106位于排风盒104内，所述排风管路7与所述排风盒104连通；所述固定防溅环壁101的外侧对称设有两个所述排风盒104，两个所述排风盒104通过排风管105分别与两只排风管路7连接；所述排风管路7与所述排风管105之间的连接处设有排风过滤网8，所述排风管路7由下至上从工艺腔体24内引出；所述升降防溅环15的顶部设有盖板14，所述盖板14的中心设有工艺孔。

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