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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利通过颜色感测估计晶片上氧化物层还原效率的方法和装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111739814B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010395666.7，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权通过颜色感测估计晶片上氧化物层还原效率的方法和装置是由马尼什·兰詹;奇安·斯威尼;尚蒂纳特·古艾迪设计研发完成，并于2017-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本通过颜色感测估计晶片上氧化物层还原效率的方法和装置在说明书摘要公布了：本发明涉及通过颜色感测估计晶片上氧化物层还原效率的方法和装置。公开了制备具有用于随后电镀操作的金属晶种层的半导体衬底的方法。在一些实施方式中，该方法可以包括：使所述半导体衬底的表面与等离子体接触，以通过还原在该表面上的金属氧化物来处理该表面，之后，从所述表面测量等离子体接触后的颜色信号，所述颜色信号具有一个或多个颜色分量。所述方法然后可以进一步包括：基于所述等离子体接触后的颜色信号估计由于所述等离子体处理而导致的氧化物还原的程度。在一些实施方式中，基于所述等离子体接触后的颜色信号的b*分量来估计由于所述等离子体处理而导致的所述氧化物还原的程度。还公开了可以实现前述方法的等离子体处理装置。

本发明授权通过颜色感测估计晶片上氧化物层还原效率的方法和装置在权利要求书中公布了：1.一种用于还原存在于准备用于随后的电镀操作的半导体衬底的金属晶种层的表面上的金属氧化物的等离子体处理装置，所述等离子体处理装置包括：-处理室，在所述处理室内具有至少一个处理站；-衬底保持器，其构造成将衬底保持在所述处理站处；-等离子体产生器，其构造成产生在所述处理室内的等离子体并且或者将所述等离子体提供给所述处理室；-颜色传感器，其被配置为从衬底测量颜色信号，所述颜色信号具有一个或多个颜色分量；以及-具有非暂时性计算机可读指令的控制器，所述非暂时性计算机可读指令用于：-操作所述等离子体产生器以产生在所述处理室内的等离子体并且或者将所述等离子体提供给所述处理室，使得所述等离子体在所述处理站接触衬底的表面，以通过还原在所述表面上的金属氧化物来处理所述表面；-在所述等离子体与所述衬底的表面接触之后，操作所述颜色传感器以从所述表面测量等离子体接触后的颜色信号，所述颜色信号具有一个或多个颜色分量；以及-基于所述等离子体接触后的颜色信号估计由于所述等离子体处理而导致的所述氧化物还原的程度，其中估计由于所述等离子体处理而导致的所述氧化物还原的所述程度包括：将所述等离子体接触后的颜色信号与一个或多个基准颜色信号进行比较。

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