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龙图腾网恭喜广东思沃先进装备有限公司申请的专利晶圆保护膜撕膜装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222637240U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421018995.X，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型晶圆保护膜撕膜装置是由唐寒风;范志平;彭家建设计研发完成，并于2024-05-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆保护膜撕膜装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体生产制程技术领域，尤其涉及一种晶圆保护膜撕膜装置，用于设置在外部晶圆撕膜工作台的上方，包括：安装架；胶带安装组件，胶带安装组件设置于安装架上；胶带夹持组件，胶带夹持组件可横向活动地设置于安装架上并位于胶带安装组件的侧旁；胶带粘合组件，胶带粘合组件可竖向活动地设置于安装架上并位于胶带夹持组件的侧旁；以及胶带切割组件，胶带切割组件设置于安装架上并位于胶带粘合组件的侧旁。本实用新型通过设置胶带安装组件放置胶带卷，胶带夹持组件夹取胶带，胶带粘合组件将被胶带夹持组件夹取的胶带粘接在晶圆保护膜的表面，胶带切割组件在胶带粘接在晶圆保护膜的表面后割断胶带，实现了晶圆保护膜的全自动撕膜。

本实用新型晶圆保护膜撕膜装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆保护膜撕膜装置，用于设置在外部晶圆撕膜工作台的上方，其特征在于，包括：安装架；胶带安装组件，所述胶带安装组件设置于所述安装架上，用于放置胶带卷；胶带夹持组件，所述胶带夹持组件可横向活动地设置于所述安装架上并位于所述胶带安装组件的侧旁，所述胶带夹持组件用于夹取所述胶带安装组件上的胶带；胶带粘合组件，所述胶带粘合组件可竖向活动地设置于所述安装架上并位于所述胶带夹持组件的侧旁，用于将被所述胶带夹持组件夹取的胶带粘接在晶圆保护膜的表面；以及胶带切割组件，所述胶带切割组件设置于所述安装架上并位于所述胶带粘合组件的侧旁，用于在胶带粘接在晶圆保护膜的表面后割断胶带。

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