恭喜赛英特半导体技术(西安)有限公司王煜获国家专利权
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龙图腾网恭喜赛英特半导体技术(西安)有限公司申请的专利一种晶圆的动态参数测试电路及测试方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119335349B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411854245.0,技术领域涉及:G01R31/26;该发明授权一种晶圆的动态参数测试电路及测试方法是由王煜设计研发完成,并于2024-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆的动态参数测试电路及测试方法在说明书摘要公布了:本公开提供了一种晶圆的动态参数测试电路及测试方法,该测试电路可以包括:电源模块、选路器、储能模块、陪测器件、测试模块以及被测器件,其中,电源模块,用于为测试电路提供电流信号;储能模块,用于存储电流信号;选路器,用于将电流信号经由储能模块传输至被测器件,或将电流信号经由陪测器件、储能模块传输至被测器件;陪测器件,在第一工作状态时,将电流信号经由储能模块和被测器件传输回电源模块,或将电流信号经由储能模块传输回电源模块;在第二工作状态时,将电流信号经由储能模块传输回电源模块,或将电流信号经由储能模块和被测器件传输回电源模块;测试模块,用于获取被测器件的电压和电流,以对被测器件测试。
本发明授权一种晶圆的动态参数测试电路及测试方法在权利要求书中公布了:1.一种晶圆的动态参数测试电路,其特征在于,所述晶圆介于光刻和封装之间的测试阶段,所述晶圆包括多个晶体管,多个晶体管的漏极构成所述晶圆的衬底,所述测试电路包括:电源模块、选路器、储能模块、陪测器件、测试模块以及被测器件,其中,所述被测器件包括主测试器件和辅助测试器件集合,其中,所述主测试器件为所述多个晶体管中的任意一个,所述辅助测试器件集合为与所述主测试器件相邻且并联设置的一个或多个晶体管;所述电源模块,用于为所述测试电路提供电流信号;所述储能模块,用于存储所述电流信号;所述选路器,用于将所述电流信号经由所述储能模块传输至所述被测器件,或将所述电流信号经由所述陪测器件、所述储能模块传输至所述被测器件;所述陪测器件,其工作状态包括第一工作状态和第二工作状态;其中,在所述陪测器件处于第一工作状态时,在所述主测试器件导通时,所述电流信号经由所述储能模块和所述辅助测试器件集合、所述晶圆的衬底、所述主测试器件传输回所述电源模块;或在所述主测试器件截止时,利用所述陪测器件的体二极管和所述选路器与所述储能模块构成回路;或在所述主测试器件截止时,将所述储能模块存储的电流源信号经过所述主测试器件的体二极管、所述辅助测试器件传输回所述储能模块;在所述陪测器件处于第二工作状态时,所述陪测器件用于将所述电流信号传输至储能模块,并经由所述储能模块将所述电流源信号传输回所述电源模块;所述测试模块,用于获取所述被测器件的电压和电流,以对所述被测器件测试。
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