恭喜台积电(南京)有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司徐民翰获国家专利权
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龙图腾网恭喜台积电(南京)有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利用于制造互连结构的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113161284B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010013805.5，技术领域涉及：H01L21/768；该发明授权用于制造互连结构的方法是由徐民翰;曹荣志;陈俊彰设计研发完成，并于2020-01-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于制造互连结构的方法在说明书摘要公布了：本公开涉及用于制造互连结构的方法。一种制造双镶嵌互连的方法，包括以下操作：在电介质层上方沉积金属硬掩模；在金属硬掩模中蚀刻金属硬掩模开口以暴露电介质层的顶表面；在电介质层中蚀刻至少一个互连开口，以暴露基底导电层的顶表面；修改金属硬掩模开口的侧壁；以及在金属硬掩模开口和至少一个互连开口中沉积导电材料。
本发明授权用于制造互连结构的方法在权利要求书中公布了：1.一种制造互连结构的方法，包括：在电介质层上方沉积金属硬掩模；在所述金属硬掩模中蚀刻金属硬掩模开口，以暴露所述电介质层的顶表面；在所述电介质层中蚀刻至少一个互连开口，以暴露基底导电层的顶表面；通过将非金属原子添加至所述金属硬掩模的金属性层来修改所述金属硬掩模开口的侧壁，并通过对所述金属硬掩模进行毒化来改变所述金属硬掩模的斜率；以及在所述金属硬掩模开口和所述至少一个互连开口中沉积导电材料。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人台积电(南京)有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司，其通讯地址为：211806 江苏省南京市浦口经济开发区紫峰路16号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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