恭喜源卓微纳科技(苏州)股份有限公司钱志斌获国家专利权
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龙图腾网恭喜源卓微纳科技(苏州)股份有限公司申请的专利一种全自动双面曝光机获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113835303B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010700821.1,技术领域涉及:G03F7/20;该发明授权一种全自动双面曝光机是由钱志斌;胥涛棚;张雷;李伟成设计研发完成,并于2020-07-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种全自动双面曝光机在说明书摘要公布了:本发明公开了一种全自动双面曝光机,其包括上料装置、下料装置,其还包括第一台面、第二台面、至少一个转移搬运组件和翻转搬运组件,位于所述第一台面和第二台面之间的曝光系统,所述第一台面和所述第二台面在所述曝光系统的两侧分别移动至所述曝光系统进行曝光操作,所述转移搬运组件和所述翻转搬运组件通过支架固定安装。本发明采用双台面,共用一个曝光系统,配合翻转搬运组件和转移搬运组件,对双台面分别进行对位曝光,两个台面可以分别对基件的两个曝光面进行对位曝光,互不干扰,曝光效率高。
本发明授权一种全自动双面曝光机在权利要求书中公布了:1.一种全自动双面曝光机,其包括上料装置、下料装置,其特征在于,其还包括第一台面、第二台面、至少一个转移搬运组件和翻转搬运组件,位于所述第一台面和第二台面之间的曝光系统,所述第一台面和所述第二台面在所述曝光系统的两侧分别移动至所述曝光系统进行曝光操作,所述转移搬运组件和所述翻转搬运组件通过支架固定安装;所述全自动双面曝光机还包括顶部输送组件,所述顶部输送组件设置于所述曝光系统的上方,用于在所述第一台面和所述第二台面之间输送基件,所述顶部输送组件可为辊轮;所述全自动双面曝光机包括第一搬运组件和第二搬运组件,所述第一搬运组件包括所述翻转搬运组件和所述转移搬运组件,第二搬运组件为第二转移搬运组件,所述第一搬运组件覆盖范围为所述上料装置、所述第一台面以及顶部输送组件靠近第一台面的区域,所述第二搬运组件的覆盖范围为顶部输送组件靠近第二台面的区域、第二台面和下料装置。
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