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龙图腾网恭喜上海华力集成电路制造有限公司申请的专利金属互连线的峰值电流计算评估方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114121706B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111409075.1，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权金属互连线的峰值电流计算评估方法是由毕寒;尹彬锋;周柯;高金德设计研发完成，并于2021-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本金属互连线的峰值电流计算评估方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种金属互连线的峰值电流计算评估方法，提供多组衬底；在多组衬底上形成具有不同设计宽度的金属互连线结构；选取多组衬底上的die，对多组金属互连线结构施加逐渐增大的脉冲电压，得到多组金属互连线结构施的可承受最大峰值电流密度的数据；根据数据拟合峰值电流密度与设计宽度的关系，得到预测区间；根据预测区间的下限得到拟合曲线，拟合曲线作为工艺验证测试标准的参考依据。本发明针对金属互连线宽度与峰值电流密度实测数据，总结得到对应关系公式，公式将对金属互连线设计提供参考；对实测数据进行统计学分析得到95％的预测区间，预测区间下限则可以作为可靠性测试标准参考。

本发明授权金属互连线的峰值电流计算评估方法在权利要求书中公布了：1.一种金属互连线的峰值电流计算评估方法，其特征在于，至少包括：步骤一、提供多组衬底；步骤二、在多组所述衬底上形成具有不同设计尺寸的金属互连线结构，所述不同设计尺寸为金属互连线不同的设计宽度；步骤三、选取多组所述衬底上的die，对步骤二得到的多组所述金属互连线结构施加逐渐增大的脉冲电压，得到多组所述金属互连线结构可承受最大峰值电流密度的数据；步骤四、根据步骤三得到的所述数据拟合峰值电流密度与所述设计宽度的关系，得到预测区间，所述预测区间按概率或可信度1-α用一个区间来估计总体参数所在的范围，其中所述设计宽度为横坐标，所述峰值电流密度为纵坐标，同一所述设计宽度对应多个所述峰值电流密度；步骤五、根据所述预测区间的下限得到拟合曲线，所述拟合曲线作为工艺验证测试标准的参考依据。

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