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龙图腾网恭喜上海高笙集成电路设备有限公司申请的专利一种半导体废气处理设备水汽雾化装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114152137B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111675076.0，技术领域涉及：F28F25/06；该发明授权一种半导体废气处理设备水汽雾化装置是由崔汉博;崔汉宽设计研发完成，并于2021-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体废气处理设备水汽雾化装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体废气处理设备水汽雾化装置,包括罩体，所述罩体外壁的两侧分别设有第一连接座和第二连接座，所述第一连接座和第二连接座与罩体呈一体化结构，所述罩体上设有安装槽，所述安装槽内嵌合有冷却组件，所述冷却组件由第一连接座、第二连接座和第三连接座组成，所述第一连接座、第二连接座和第三连接座上分别设有第一喷头、第二喷头和第三喷头，所述第一连接座、第二连接座和第三连接座两端均连接有连接管，所述第一连接座、第二连接座和第三连接座一端的连接管与第一连接座内部连通。本水汽雾化装置，有效的增大了喷淋面积，扩大了降温的区域，使得废气与水可以充分接触，达到更好的处理和冷却效果。

本发明授权一种半导体废气处理设备水汽雾化装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体废气处理设备水汽雾化装置,其特征在于：包括罩体1，所述罩体1外壁的两侧分别设有第一外接座3和第二外接座4，所述第一外接座3和第二外接座4与罩体1呈一体化结构，所述罩体1上设有安装槽，所述安装槽内嵌合有冷却组件2，所述冷却组件2由第一连接座5、第二连接座6和第三连接座7组成，所述第一连接座5、第二连接座6和第三连接座7上分别设有第一喷头8、第二喷头9和第三喷头10，所述第一连接座5、第二连接座6和第三连接座7两端均连接有连接管，所述第一连接座5、第二连接座6和第三连接座7一端的连接管与第一外接座3内部连通，所述第一连接座5、第二连接座6和第三连接座7另一端的连接管与第二外接座4内部连通，所述第一外接座3和第二外接座4上分别设有进水口11和进气口12；所述第一喷头8和第二喷头9位于第三喷头10的两侧，所述第一喷头8和第二喷头9与安装槽一端槽口位置对应，所述第三喷头10与安装槽另一端槽口位置对应；所述第一外接座3和第二外接座4内部均呈中空结构，所述第一外接座3上的进水口11通过外接水管与供水设备连接，所述第二外接座4上的进气口12通过外接气管与空气压缩装置连接。

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