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龙图腾网恭喜北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利反应腔室和晶圆对准方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115332137B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210973128.0，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权反应腔室和晶圆对准方法是由伊藤正雄;林源为设计研发完成，并于2022-08-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本反应腔室和晶圆对准方法在说明书摘要公布了：本申请公开一种反应腔室和晶圆对准方法，反应腔室包括承载机构、驱动机构、光路检测组件、腔体和控制组件，承载机构具有用于承载晶圆的承载面，承载机构通过驱动机构活动安装于腔体；光路检测组件包括光发射器和光接收器，光接收器用于探测光发射器发射出的光线，控制组件用以控制承载机构围绕腔体的轴线作旋转运动至预设时长，且获取承载于承载机构的晶圆与承载机构之间的偏离参数；控制组件还用于在偏离参数不为零的情况下，基于偏离参数，控制驱动机构驱动承载机构沿垂直于轴线方向的水平方向运动，以使晶圆的圆心位于腔体的轴线上。上述反应腔室可以使晶圆尽可能得保持相对居中的状态。

本发明授权反应腔室和晶圆对准方法在权利要求书中公布了：1.一种反应腔室，其特征在于，所述反应腔室包括承载机构、驱动机构、光路检测组件、腔体和控制组件，所述承载机构具有用于承载晶圆的承载面，所述承载机构通过所述驱动机构活动安装于所述腔体；至少三个所述光路检测组件沿直线方向分布，且多个所述光路检测组件中的二者分别为第一检测组件和第二检测组件，位于所述第一检测组件和所述第二检测组件之间的至少一个光路检测组件发出的光线被所述承载面遮挡，且光线未被所述承载面遮挡的多个光路检测组件中最邻近光线被所述承载面遮挡的光路检测组件的两者分别为所述第一检测组件和所述第二检测组件；所述光路检测组件包括光发射器和光接收器，所述光发射器和所述光接收器中的一者安装于所述腔体的顶部，另一者安装于所述腔体的底部，且所述光发射器和所述光接收器沿所述腔体的轴线方向相对设置，所述光接收器用于探测所述光发射器发射出的光线，所述控制组件用以控制所述承载机构围绕所述腔体的轴线作旋转运动至预设时长，且获取承载于所述承载机构的晶圆与所述承载机构之间的偏离参数；所述控制组件用以基于各所述光路检测组件的光线探测状态，确定是否需要通过所述驱动机构调节所述承载机构的位置，所述控制组件还用于在所述偏离参数不为零的情况下，基于所述偏离参数，控制所述驱动机构驱动所述承载机构沿垂直于所述轴线方向的水平方向运动，以使所述晶圆的圆心位于所述腔体的轴线上，所述承载机构的被调节尺寸与所述承载机构的转速、所述晶圆的半径和所述预设时长均相关。

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