恭喜湖北光安伦芯片有限公司葛婷获国家专利权
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龙图腾网恭喜湖北光安伦芯片有限公司申请的专利一种用于BCB固化的装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222619699U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420531009.4，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种用于BCB固化的装置是由葛婷;张松设计研发完成，并于2024-03-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于BCB固化的装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体技术领域，具体涉及一种用于BCB固化的装置，包括支撑底座以及依次层叠设置于与所述支撑底座上的若干层叠底座，所述支撑底座和所述层叠底座均包括晶圆承载板以及用于支撑所述晶圆承载板的支撑架，所述晶圆承载板的顶面设置有若干晶圆固定槽，且所述晶圆固定槽的底部部分镂空。本实施例的装置可以同时进行多个晶圆的BCB固化工艺，固化效率高，产能大，且晶圆固定槽的底部部分镂空，晶圆两面均平行于气流方向，使得晶圆在加热和降温过程中保持两面温度相同，更好的维持晶圆整体的温度均匀性，固化效果更好，同时固化设备腔体内气流可以时刻保持层流状态，批次间产品的一致性和重复性更好。
本实用新型一种用于BCB固化的装置在权利要求书中公布了：1.一种用于BCB固化的装置，其特征在于：包括支撑底座以及依次层叠设置于与所述支撑底座上的若干层叠底座，所述支撑底座和所述层叠底座均包括晶圆承载板以及用于支撑所述晶圆承载板的支撑架，所述晶圆承载板的顶面设置有若干晶圆固定槽，且所述晶圆固定槽的底部部分镂空。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人湖北光安伦芯片有限公司，其通讯地址为：436000 湖北省鄂州市葛店开发区高新三路光谷联合科技城第C9幢5单元；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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