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龙图腾网恭喜无锡尚积半导体科技有限公司申请的专利一种晶圆表面预清洁的装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119132927B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411598284.9，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权一种晶圆表面预清洁的装置及方法是由许磊;宋永辉;王世宽设计研发完成，并于2024-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆表面预清洁的装置及方法在说明书摘要公布了：本发明属于晶圆处理设备技术领域，主要涉及一种晶圆表面预清洁的装置及方法，晶圆表面预清洁装置包括主体、进腔管以及混合组件，主体内具有与进腔管连通的处理腔；混合组件包括多个混合件，混合件包括两个固定环以及多个导流板，导流板均通过一块直板绕固定环的中心轴线扭曲设定的角度而形成，导流板具有位于上下两端且平行的端部平面以及位于两个端部平面之间的螺旋曲面，混合件中任意相邻的两个导流板之间、位于两侧导流板与进腔管的管壁之间均形成供工艺气体混合流通的混合导流通道，相邻两个混合件中一一对应的两块导流板的端部平面之间具有夹角α。经过相邻两个混合件的混合作用，实现多种工艺气体的均匀混合。

本发明授权一种晶圆表面预清洁的装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆表面预清洁的装置，其特征在于，包括主体、设于主体上的进腔管以及安装在进腔管内的混合组件，所述主体内具有用于放置晶圆的处理腔，进腔管与处理腔连通且轴线沿上下方向延伸，进腔管正对处理腔内的晶圆；所述混合组件包括多个设于进腔管内的混合件，每个混合件均包括两个沿上下方向间隔布置的固定环以及固定装配在两个固定环之间的多个等间隔分布的导流板，每个导流板均通过一块直板绕所述固定环的中心轴线扭曲设定的角度而形成，导流板具有位于上下两端且平行的端部平面以及位于两个端部平面之间的螺旋曲面，同一个混合件中任意相邻的两个导流板之间、位于两侧导流板与进腔管的管壁之间均形成供工艺气体混合流通的混合导流通道，相邻两个混合件中一一对应的两块导流板的端部平面之间具有夹角α，夹角α大于0°且小于180°；混合组件还包括两个分置在进腔管内上下两侧的固定板，多个所述混合件位于两个固定板之间，两个固定板上均具有通孔；每个混合件均包括与固定环中心轴线同轴的转动轴，所述转动轴固定装配在中间位置的导流板上，相邻转动轴同轴转动连接，对应侧的固定板转动连接对应的转动轴，导流板的数量为奇数；相邻两个所述混合件中导流板的螺旋延伸方向相反。

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