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龙图腾网恭喜若名芯装备(苏州)有限公司;若名芯半导体科技(苏州)有限公司申请的专利一种晶圆用高温药液清洗蚀刻设备及清洗蚀刻方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115513099B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211273695.1，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆用高温药液清洗蚀刻设备及清洗蚀刻方法是由余涛;庞金元设计研发完成，并于2022-10-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆用高温药液清洗蚀刻设备及清洗蚀刻方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆用高温药液清洗蚀刻设备，包括密闭腔室，密闭腔室的两侧具有排气通道；晶圆放置台设于密闭腔室内，晶圆放置台上设有卡爪；背面高温药液喷嘴从晶圆放置台下方往上伸出至晶圆背面的下方；表面保温件可升降的设置在晶圆的上方，表面保温件上设有入口；背部保温件可升降的设置在晶圆的下方；正面高温药液喷嘴可移动的设置在晶圆放置台的四周；清洗喷嘴设置在表面保温件内并指向晶圆，本发明还公开了一种晶圆用高温药液清洗蚀刻设备的清洗蚀刻方法，本发明通过可升降设置在晶圆上方和下方的表面保温件和背面保温件以及三个正面高温药液喷嘴并利用导流组件对气流导向，确保药液处于高温范围内，提升晶圆上表面内的蚀刻率均匀性。

本发明授权一种晶圆用高温药液清洗蚀刻设备及清洗蚀刻方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆用高温药液清洗蚀刻设备，其特征在于，包括：密闭腔室，所述密闭腔室的两侧具有排气口朝上设置的排气通道；晶圆放置台，设于所述密闭腔室内，且，所述晶圆放置台上设有用于夹持晶圆的卡爪；背面高温药液喷嘴，从所述晶圆放置台下方往上伸出至所述卡爪上的晶圆背面的下方，用于对晶圆的背面进行高温药液喷洗；表面保温件，可上下升降的设置在晶圆的上方，用于对晶圆的上方进行保温，所述表面保温件上设有多个用于正面高温药液喷嘴进入的入口；背部保温件，可升降的设置在所述晶圆放置台上并位于晶圆的下方，用于对晶圆的背面进行保温；至少一个正面高温药液喷嘴，可移动的设置在所述晶圆放置台的四周，所述正面高温药液喷嘴用于移动至入口处后将高温药液喷至晶圆的上表面；至少一个清洗喷嘴，设置在所述表面保温件内并指向晶圆；其中，还包括一个用于引导气流方向的导流组件，所述导流组件包括：移动密封块，可升降的设置在所述排气通道上方的出气口处；上引流罩，可上下升降的设置在表面保温件和承载台之间，且上引流罩将晶圆的周向包围，其中，当上引流罩抵触在所述表面保温件上时将气流引导至排气通道的出气口处；下引流罩，可上下升降的抵触在所述上引流罩的下方，且，所述下引流罩将晶圆的周向包围。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人若名芯装备(苏州)有限公司;若名芯半导体科技(苏州)有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市张家港市凤凰镇恬庄村第二十四组100号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。