恭喜株洲三一硅能技术有限公司郑磊获国家专利权
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龙图腾网恭喜株洲三一硅能技术有限公司申请的专利原子层沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222512967U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421319946.X，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型原子层沉积设备是由郑磊设计研发完成，并于2024-06-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本原子层沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体技术领域，提供一种原子层沉积设备，包括依次连接的净化台总成、炉体柜总成和气源柜总成；炉体柜总成包括炉架以及设于炉架的至少两列炉体组件，每列炉体组件沿炉架的高度方向间隔设有至少四个炉体部件；净化台总成包括支撑架以及设于支撑架的推舟机构和供料机构，推舟机构与支撑架连接，推舟机构的数量和位置均与炉体的部件的数量和位置一一对应地设置，供料机构设于推舟机构的一侧，用于为推舟机构供料；气源柜总成用于为炉体部件供气，以及用于将炉体部件的气体排出。本实用新型能够使原子层沉积设备通过供料机构和推舟机构自动为炉体部件进行上料，可以有效提升上料节凑，提高单台设备的产能。
本实用新型原子层沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种原子层沉积设备，其特征在于，包括依次连接的净化台总成、炉体柜总成和气源柜总成；所述炉体柜总成包括炉架以及设于所述炉架的至少两列炉体组件，每列所述炉体组件沿所述炉架的高度方向间隔设有至少四个炉体部件；所述净化台总成包括支撑架以及设于所述支撑架的推舟机构和供料机构，所述推舟机构与所述支撑架连接，所述推舟机构的数量和位置均与所述炉体的部件的数量和位置一一对应地设置，所述供料机构设于所述推舟机构的一侧，用于为所述推舟机构供料；所述气源柜总成用于为所述炉体部件供气，以及用于将所述炉体部件的气体排出。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株洲三一硅能技术有限公司，其通讯地址为：412000 湖南省株洲市石峰区铜塘湾街道清霞路与老工业路交汇处西南侧南1跨厂房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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