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龙图腾网恭喜上海微松工业自动化有限公司申请的专利一种基于滚轮夹持驱动的晶圆定位校准装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112563180B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011432502.3，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权一种基于滚轮夹持驱动的晶圆定位校准装置是由郭俭;谢旭波;陈小川设计研发完成，并于2020-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于滚轮夹持驱动的晶圆定位校准装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种基于滚轮夹持驱动的晶圆定位校准装置，包括固定板、一对并列设置在固定板侧面的夹持单元、设置在固定板侧面并位于两夹持单元之间的晶圆缺口校准机构以及设置在固定板侧面并与夹持单元相适配的平移限位机构，夹持单元包括设置在固定板侧面的气缸驱动机构、与气缸驱动机构传动连接的马达安装座以及一对并列设置在马达安装座上的滚轮驱动机构。与现有技术相比，本发明通过滚轮夹持晶圆的外缘来定位晶圆的圆心，不接触晶圆中心部位，不存在污染晶圆等风险；通过滚轮驱动晶圆一起旋转，滚轮与晶圆外缘的接触点不是一个固定的点，避免了现有技术中所存在的夹块遮挡晶圆缺口、光纤无法检测到晶圆缺口的缺陷。

本发明授权一种基于滚轮夹持驱动的晶圆定位校准装置在权利要求书中公布了：1.一种基于滚轮夹持驱动的晶圆定位校准装置，其特征在于，该装置包括固定板1、一对并列设置在固定板1侧面的夹持单元、设置在固定板1侧面并位于两夹持单元之间的晶圆缺口校准机构以及设置在固定板1侧面并与夹持单元相适配的平移限位机构，所述的夹持单元包括设置在固定板1侧面的气缸驱动机构、与气缸驱动机构传动连接的马达安装座3以及一对并列设置在马达安装座3上的滚轮驱动机构；其中，所述的滚轮驱动机构设有4组，包括竖直设置在马达安装座3上的步进马达4以及设置在步进马达4顶部并与步进马达4传动连接的滚轮5；所述的滚轮5包括与步进马达4的马达轴固定连接的滚轮圆台部501以及设置在滚轮圆台部501顶部的滚轮圆柱部502，所述的滚轮圆台部501的顶部与滚轮圆柱部502的底部之间开设有滚轮槽口503；所述的滚轮圆台部501的外径由上而下逐渐增大，所述的滚轮圆台部501的底面外径大于滚轮圆柱部502的外径，所述的滚轮圆台部501的顶面外径小于滚轮圆柱部502的外径；所述的气缸驱动机构包括水平设置在固定板1侧面的线性滑轨2以及设置在固定板1侧面并与马达安装座3传动连接的夹持气缸6，所述的马达安装座3的一端与线性滑轨2的滑块固定连接；所述的夹持气缸6与马达安装座3之间设有气缸轴连接板7，所述的夹持气缸6的气缸轴通过气缸轴连接板7与马达安装座3相连；所述的晶圆缺口校准机构包括设置在固定板1侧面的光纤座11以及设置在光纤座11上的光纤传感器12；所述的光纤座11包括上光纤座及下光纤座，所述的光纤传感器12为对射型光纤传感器，包括光纤发射端及光纤接收端，所述的光纤发射端、光纤接收端分别设置在上光纤座、下光纤座上；晶圆定位校准装置的使用过程包括：1初始状态：夹持气缸的气缸轴伸出，马达安装座带动步进马达连同滚轮向两侧张开，步进马达不运转；2上料：放置晶圆至四个滚轮中间，高度方向上位于滚轮槽口间；3定位晶圆圆心：夹持气缸的气缸轴缩回，马达安装座带动步进马达连同滚轮向内平移，晶圆在滚轮圆台部的斜面导向下被滚轮夹持，限位块阻挡右侧马达安装座继续向内平移，右侧两个步进马达上的滚轮控制晶圆的位置，缓冲器头部顶住左侧的马达安装座，缓冲器依靠弹力保证左侧两个步进马达上的滚轮与晶圆接触，并保持设定的夹持力，晶圆的圆心定位完成；4寻找晶圆缺口：晶圆的圆心定位完成后，四个步进马达同步启动运转，其马达轴和滚轮一起旋转，滚轮依靠滚轮与晶圆外缘之间的摩擦力驱动晶圆旋转，光纤传感器对晶圆的边缘进行检测，在晶圆缺口没有到达光纤传感器处时，光纤传感器发射端发出的检测光线被晶圆挡住而无法到达光纤传感器的接收端，光纤传感器无检测信号；当晶圆缺口到达光纤传感器处时，光纤传感器发射端发出的检测光线通过晶圆缺口到达光纤传感器的接收端，光纤传感器发出找到晶圆缺口的信号，四个步进马达立即同时停止运转，晶圆保持现有的姿态等待取出，晶圆缺口寻找完成；5下料：夹持气缸的气缸轴伸出，马达安装座带动步进马达连同滚轮向两侧张开，晶圆落到滚轮圆台部的斜面上，取出定位和校准完成的晶圆并保持现有的姿态和位置将晶圆送入下一工序；6重复步骤1至步骤5，直至所有晶圆完成定位和校准。

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