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恭喜琳得科株式会社泉直史获国家专利权

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龙图腾网恭喜琳得科株式会社申请的专利片材剥离方法和片材剥离装置、以及分割方法和分割装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115461855B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180031912.3,技术领域涉及:H01L21/683;该发明授权片材剥离方法和片材剥离装置、以及分割方法和分割装置是由泉直史;杉下芳昭;奥田卓也设计研发完成,并于2021-04-09向国家知识产权局提交的专利申请。

片材剥离方法和片材剥离装置、以及分割方法和分割装置在说明书摘要公布了:一种片材剥离方法,将粘贴于被粘合体WK1的粘合片材AS1从该被粘合体WK1剥离,片材剥离方法实施如下工序:片材保持工序,其保持粘合片材AS1;被粘合体保持工序,其保持被粘合体WK1;剥离工序,其对在片材保持工序保持的粘合片材AS1施加张力,来将粘合片材AS1从被粘合体WK1剥离;张力检测工序,其在剥离工序将粘合片材AS1从被粘合体WK1剥离时,检测施加于该粘合片材AS1的片材张力;在剥离工序中,基于在张力检测工序的检测结果,在维持片材张力为所希望的张力的同时将粘合片材AS1从被粘合体WK1剥离。

本发明授权片材剥离方法和片材剥离装置、以及分割方法和分割装置在权利要求书中公布了:1.一种片材剥离方法,其将粘贴于被粘合体的粘合片材从该被粘合体剥离,所述片材剥离方法实施如下工序:片材保持工序,其保持所述粘合片材;被粘合体保持工序,其保持所述被粘合体;剥离工序,其对在所述片材保持工序保持的所述粘合片材施加张力,来将所述粘合片材从所述被粘合体剥离;张力检测工序,其在所述剥离工序将所述粘合片材从所述被粘合体剥离时,检测施加于该粘合片材的片材张力;在所述剥离工序中,基于在所述张力检测工序的检测结果,在维持所述片材张力为所希望的张力的同时,根据所述被粘合体和所述粘合片材粘合的粘合面的减少使所述片材张力减少,将所述粘合片材从所述被粘合体剥离。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人琳得科株式会社,其通讯地址为:日本东京都;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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