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恭喜北京中拓光电科技有限公司伊文君获国家专利权

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龙图腾网恭喜北京中拓光电科技有限公司申请的专利一种可升降的载物台及用其对外延片进行检测的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114324341B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210144979.4,技术领域涉及:G01N21/84;该发明授权一种可升降的载物台及用其对外延片进行检测的方法是由伊文君;张奇;徐杰;贾侦华设计研发完成,并于2022-02-18向国家知识产权局提交的专利申请。

一种可升降的载物台及用其对外延片进行检测的方法在说明书摘要公布了:一种可升降的载物台,包括机架,载片台(20),顶针组件,升降机构,以及驱动组件;其特征在于,驱动组件可通过升降机构驱动载片台(20)升降,从而使得顶针组件中的顶针(12)的顶部处于突出于载片台(20)的上表面一定距离、与载片台(20)的上表面齐平、或者低于载片台(20)上表面一定距离的位置,当顶针(12)的顶部处于突出于载片台(20)的上表面一定距离的位置时,可实现外延片的自动取放;当顶针(12)的顶部处于与载片台(20)的上表面齐平、或者低于该上表面一定距离的位置时,可实现外延片的吸附固定、以及检测时的自动调焦。

本发明授权一种可升降的载物台及用其对外延片进行检测的方法在权利要求书中公布了:1.一种可升降的载物台,包括机架,载片台20,顶针组件,升降机构,以及驱动组件;其特征在于:驱动组件可通过升降机构驱动载片台20升降,从而使得顶针组件中的顶针12的顶部处于突出于载片台20的上表面一定距离、与载片台20的上表面齐平、或者低于载片台20上表面一定距离的位置,当顶针12的顶部处于突出于载片台20的上表面一定距离的位置时,可实现外延片的自动取放;当顶针12的顶部处于与载片台20的上表面齐平、或者低于该上表面一定距离的位置时,可实现外延片的吸附固定、以及检测时的自动调焦;其中,升降机构包括丝杠5,丝杠支座4,丝杠螺帽7,滑块推板6,惰轮18,惰轮支座17,Z轴上板19;丝杠5可转动地设置在丝杠座3上,丝杠座3固定在丝杠支座4上,丝杠支座4固定在Z轴底板9上,丝杠5的一端通过联轴器2与电机1的输出轴传动连接,另一端套设有丝杠螺帽7;丝杠螺帽7上固定连接有滑块推板6,惰轮18与滑块推板6的斜面相抵接且可沿该斜面滑动,惰轮18通过惰轮支座17与机架滑动连接,可沿着机架上下滑动;惰轮支座17的顶部设置有Z轴上板19,Z轴上板19的顶部与载片台20固定连接;Z轴底板9上还设置有沿竖直方向延伸的Z导轨10,Z轴导轨板11可滑动的设置在Z导轨10上,Z轴导轨板11与Z轴上板19固定连接,惰轮支座17与Z轴上板19固定连接,从而惰轮18可带动惰轮支座17、Z轴上板19、Z轴导轨板11沿着Z导轨10上下滑动。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京中拓光电科技有限公司,其通讯地址为:102200 北京市昌平区科技园区超前路23号院C区1层106号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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