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龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利基板载置台的研磨方法和基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115213808B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210293100.2，技术领域涉及：B24B37/04；该发明授权基板载置台的研磨方法和基板处理装置是由南雅人;佐佐木芳彦;边见笃设计研发完成，并于2022-03-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板载置台的研磨方法和基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供基板载置台的研磨方法和基板处理装置。抑制在基板载置台的加工时因切削负荷的影响使加工工具倾斜导致加工错移而产生台阶，抑制蚀刻斑的产生。基板载置台的研磨方法用于研磨作为基板载置台的上表面的基板载置面，该基板载置台包括基材、设于所述基材上的下层喷镀膜、以及设于电极层上的上层喷镀膜，该基板载置台的研磨方法具有以下工序：对所述上层喷镀膜和所述下层喷镀膜利用浸渍剂施加浸渍处理；对所述基板载置面利用磨削加工施加平坦化处理；以及遮蔽所述基板载置面的周缘部，对所述基板载置面的除周缘部以外的中央部施加粗糙化处理。

本发明授权基板载置台的研磨方法和基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板载置台的研磨方法，其用于研磨作为基板载置台的上表面的基板载置面，该基板载置台包括基材、设于所述基材上的下层喷镀膜、以及设于电极层上的上层喷镀膜，其中，该基板载置台的研磨方法具有以下工序：利用第1浸渍剂来对所述上层喷镀膜和所述下层喷镀膜施加第1浸渍处理；在施加该第1浸渍处理的工序之后，对整个所述基板载置面利用使用了磨削液的磨削加工施加第1平坦化处理；在该第1平坦化处理之后，对包含仅形成于所述基板载置面的周缘部的堤部喷镀膜的整个所述基板载置面利用填充率高于所述第1浸渍剂的第2浸渍剂施加第2浸渍处理；在该第2浸渍处理之后，对所述堤部喷镀膜利用使用了所述磨削液的磨削加工施加第2平坦化处理；遮蔽所述基板载置面的周缘部，对所述基板载置面的除周缘部以外的中央部利用喷镀施加粗糙化处理；以及在施加所述粗糙化处理的工序之后，利用所述第2浸渍剂施加粗糙化后的第3浸渍处理。

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