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龙图腾网恭喜株式会社T-ROBOTICS申请的专利一种用于将基板传送机器人在真空室内行走的行走机器人获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115527905B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210452884.9，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种用于将基板传送机器人在真空室内行走的行走机器人是由李寿钟;金明辰;李昌成;白承煐;池昌弦;咸相辉;许文纪;朴宰炫;李太韩设计研发完成，并于2022-04-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于将基板传送机器人在真空室内行走的行走机器人在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于使基板传送机器人在真空室内行走的行走机器人，包括：行走臂平台，其包括第1_1结合孔、第1_2结合孔和第1_3结合孔；第1行走臂部包括第1_1行走连杆臂及第1_2行走连杆臂；第2行走臂部包括第2_1行走连杆臂及第2_2行走连杆臂；传送机器人结合部，其第2前端区域可旋转地结合到第1_2行走连杆臂的第1_2另一前端区域，第2另一前端区域可旋转地结合到第2_2行走连杆臂的第2_2另一前端区域，在第2中央区域形成有带中空的旋转驱动轴密封结合到用于传送基板的基板传送机器人的旋转驱动电机。

本发明授权一种用于将基板传送机器人在真空室内行走的行走机器人在权利要求书中公布了：1.一种用于使基板传送机器人在真空室的内部行走的行走机器人，其特征在于，包括：行走臂平台，其包括：第1_1结合孔、其在第1中央区域被形成有与升降驱动轴的中空对应的第1_1通孔的第1_1卡止件分为第1_1上部空间和第1_1下部空间，并且所述第1_1上部空间被第1_1盖子密封；第1_2结合孔，其在第1一前端区域被形成有第1_2通孔的第1_2卡止件分为第1_2上部空间和第1_2下部空间，并且所述第1_2下部空间被第1_2盖子密封；和第1_3结合孔，其在第1另一前端区域被形成有第1_3通孔的第1_3卡止件分为第1_3上部空间和第1_3下部空间，并且所述第1_3下部空间被第1_3盖子密封，并且引入所述第1_1下部空间的所述升降驱动轴固定结合到所述第1_1卡止件；第1行走臂部，其包括：第1_1行走连杆臂，其在密封的内部空间设有第1行走驱动电机和与所述第1行走驱动电机联动将转速降低至12的第1减速机，与所述第1减速机联动的形成有中空的第1_1驱动轴和与所述第1_1驱动轴联动的第1_1输出轴密封设置于第1_1一前端区域，与所述第1行走驱动电机联动的形成有中空的第1_2驱动轴和与所述第1_2驱动轴联动的第1_2输出轴密封设置于第1_1另一前端区域，所述第1_1输出轴固定结合至第1_1连接件，所述第1_1连接件引入所述行走臂平台的所述第1_2上部空间中并固定结合至所述第1_2卡止件；以及第1_2行走连杆臂，其第1_2一前端区域固定结合至所述第1_1行走连杆臂的所述第1_2输出轴；第2行走臂部，其包括：第2_1行走连杆臂，其在密封的内部空间设有第2行走驱动电机和与所述第2行走驱动电机联动将转速降低至12的第2减速机，与所述第2减速机联动的形成有中空的第2_1驱动轴和与所述第2_1驱动轴联动的第2_1输出轴密封设置于第2_1一前端区域，与所述第2行走驱动电机联动的形成有中空的第2_2驱动轴和与所述第2_2驱动轴联动的第2_2输出轴密封设置于第2_1另一前端区域，所述第2_1输出轴固定结合至第1_2连接件，所述第1_2连接件引入所述行走臂平台的所述第1_3上部空间中并固定结合至所述第1_3卡止件；以及第2_2行走连杆臂，其第2_2一前端区域固定结合至所述第2_1行走连杆臂的所述第2_2输出轴；以及传送机器人结合部，其第2一前端区域可旋转地结合到所述第1_2行走连杆臂的第1_2另一前端区域，第2另一前端区域可旋转地结合到所述第2_2行走连杆臂的第2_2另一前端区域，在第2中央区域形成有带中空的旋转驱动轴密封结合到用于传送基板的基板传送机器人的旋转驱动电机，其中，所述基板传送机器人包括：传送臂平台，其形成有：第2_1结合孔，其在第3中央区域被形成有与所述传送机器人结合部的所述旋转驱动电机的所述旋转驱动轴的中空对应的第2_1通孔的第2_1卡止件分为第2_1上部空间和第2_1下部空间，并且所述第2_1上部空间被第2_1盖子密封；第2_2结合孔，其在第3一前端区域被形成有第2_2通孔的第2_2卡止件分为第2_2上部空间和第2_2下部空间，并且所述第2_2下部空间被第2_2盖子密封；和第2_3结合孔，其在第3另一前端区域被形成有第2_3通孔的第2_3卡止件分为第2_3上部空间和第2_3下部空间，并且所述第2_3下部空间被第2_3盖子密封，并且包括用于连杆结合的第1_1叶片和第1_2叶片的连杆连接件固定结合到前方区域，所述前方为为了将基板传送到与所述真空室结合的工艺室而配置所述基板传送机器人的状态下所述工艺室所处的方向，引入所述第2_1下部空间中的所述旋转驱动电机的所述旋转驱动轴固定结合到所述第2_1卡止件；第1传送臂部，其包括：第1_1传送连杆臂，其在密封的内部空间设有第1传送驱动电机和与所述第1传送驱动电机联动将转速降低至12的第3减速机，与所述第3减速机联动的形成有中空的第3_1驱动轴和与所述第3_1驱动轴联动的第3_1输出轴密封设置于第3_1一前端区域，与所述第1传送驱动电机联动的形成有中空的第3_2驱动轴和与所述第3_2驱动轴联动的第3_2输出轴密封设置于第3_1另一前端区域，所述第3_1输出轴固定结合至第2_1连接件，所述第2_1连接件引入所述传送臂平台的所述第2_2上部空间中并固定结合至所述第2_2卡止件；第1_2传送连杆臂，其第3_2一前端区域通过第1固定结合轴固定结合至所述第1_1传送连杆臂的所述第3_2输出轴；第1共用连杆臂，其第4中央区域可旋转地结合到所述第1固定结合轴；第1_1辅助连杆臂，其平行于所述第1_1传送连杆臂，第3_4一前端区域可旋转地结合到所述传送臂平台的所述连杆连接件的所述第1_1叶片，第3_4另一前端区域可旋转地结合到所述第1共用连杆臂的第3_3一前端区域；第1_2辅助连杆臂，其平行于所述第1_2传送连杆臂，第3_5一前端区域可旋转地结合到所述第1共用连杆臂的第3_3另一前端区域；第1_3辅助连杆臂，其平行于所述第1共用连杆臂，第3_6一前端区域可旋转地结合到所述第1_2辅助连杆臂的第3_5另一前端区域，第3_6另一前端区域可旋转地结合到所述第1_2传送连杆臂的第3_2另一前端区域；和第1末端执行器，其固定到所述第1_3辅助连杆臂的所述第3_6另一前端区域以支撑所述基板；以及第2传送臂部，其包括：第2_1传送连杆臂，其在密封的内部空间设有第2传送驱动电机和与所述第2传送驱动电机联动将转速降低至12的第4减速机，与所述第4减速机联动的形成有中空的第4_1驱动轴和与所述第4_1驱动轴联动的第4_1输出轴密封设置于第4_1一前端区域，与所述第2传送驱动电机联动的形成有中空的第4_2驱动轴和与所述第4_2驱动轴联动的第4_2输出轴密封设置于第4_1另一前端区域，所述第4_1输出轴固定结合至第2_2连接件，所述第2_2连接件引入所述传送臂平台的所述第2_3上部空间中并固定结合至所述第2_3卡止件；第2_2传送连杆臂，其第4_2一前端区域通过第2固定结合轴固定结合至所述第2_1传送连杆臂的所述第4_2输出轴；第2共用连杆臂，其第5中央区域可旋转地结合到所述第2固定结合轴；第2_1辅助连杆臂，其平行于所述第2_1传送连杆臂，第4_4一前端区域可旋转地结合到所述传送臂平台的所述连杆连接件的所述第1_2叶片，第4_4另一前端区域可旋转地结合到所述第2共用连杆臂的第4_3一前端区域；第2_2辅助连杆臂，其平行于所述第2_2传送连杆臂，第4_5一前端区域可旋转地结合到所述第2共用连杆臂的第4_3另一前端区域；第2_3辅助连杆臂，其平行于所述第2共用连杆臂，第4_6一前端区域可旋转地结合到所述第2_2辅助连杆臂的第4_5另一前端区域，第4_6另一前端区域可旋转地结合到所述第2_2传送连杆臂的第4_2另一前端区域；和第2末端执行器，其通过托架固定到所述第2_3辅助连杆臂的所述第4_6另一前端区域以支撑所述基板。

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