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摘要：描述了多级脉冲的系统和方法。所述系统和方法包含产生四或更多个状态。在所述四或更多个状态中的每一者期间，射频RF产生器产生RF信号。所述RF信号具有四或更多个功率电平，且所述四或更多个功率电平的每一者对应于所述四或更多个状态。所述多级脉冲促进处理衬底方面的更精细的控制。
主权项：1.一种产生多状态等离子体阻抗的方法，其包含：接收同步化信号，所述同步化信号具有周期性重复的多个周期；由第一射频RF产生器产生第一RF信号，所述第一RF信号在所述多个周期中的一个内包含至少两个参数等级；由第二RF产生器产生第二RF信号，所述第二RF信号在所述多个周期的所述一个内包含至少三个参数等级；通过修改所述第一RF信号的所述至少两个参数等级中的一个的发生的时间段或所述第二RF信号的所述至少三个参数等级中的一个的发生的时间段，实现多个等离子体阻抗状态。
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权利要求：
百度查询： 朗姆研究公司 用于RF等离子体工具中的多级脉冲的系统和方法
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